sem能分析元素变化吗，sem在材料分析中的应用

　　　　sem能分析元素变化吗，sem在材料分析中的应用

　　　　未标准化的定量分析方法目前还没有国家标准，但在非均相试样、粉体试样及要求较低的一般分析研究中，应用广泛，目前正在考虑制定非EDS标准化的定量分析方法的国家标准。

　　　　但是，试样产生的x射线在进入真空之前可能会被试样吸收或激发，因此需要定量校正。 现在使用的EDS和WDS可以简单地进行校正计算，但进行校正的前提是x射线产生区域中的元素分布相同、试样表面平坦、电子探针垂直入射等。

　　　　您现在可以看到，对于大多数样品，TEM的EDS分析是半定量的，对轻元素只能进行定性。 大家能做的就是找出干扰尽量少的区域，取多点分析的平均值，选择合适合理的分析工具，尽量减少误差。 入射到分析区域的样品的电子在失去能量的同时向样品中扩散，在该过程中x射线被激发。 背散射电子像主要反映样品表面元素的分布，区域越亮原子序数越高。

　　　　定量分析因为特征性的x射线的强度与对应元素的浓度成比例，所以可以进行定量分析。 亮度越高，元素含量越高，键形像常用于成分偏重合、相分布的研究。 点分析对样本上的一点(参照分析区域)进行定性分析。 分析一定范围的区域(不是一点)时，定性分析在电子探针扫描该区域(观察图像)的同时进行。 检出限)因元素而异，但EDS一般为数千ppm。

　　　　首先，扫描电镜照片为灰度图像，分为二次电子图像和背散射电子图像，主要用于观察表面微观形貌和表面元素分布观察。 如图52所示，如果通过分光晶体利用x射线的衍射现象测定波长，使分光晶体和检测器在被称为罗兰圆的一定半径的圆上移动，则为了复盖整个波长范围需要具备多个分光晶体和驱动机构，因此获取x射线光谱需要花费时间。

　　　　x线面分析只关注作为特定能量特征的x射线，将电子探针在样品上扫描的分析作为x线面分析，可以了解样品中元素的分布。 电子探针和扫描电子显微镜的x射线光谱定量分析被定为国家标准，规定了EDS定量分析的允许误差(含有超轻元素的试料除外)。

　　　　低真空SEM(lowvacuumSEM，简称LV SEM )可以分析未镀敷的非导电性样品，但在LV SEM样品室中，由于在电子束的通路中存在残留气体分子，入射电子束散射，分析区域变大一边用电子探针对样品进行扫描，一边对每个点进行定量分析的方法叫做定量面分析。 点扫描和线扫描都是对样品所在位置进行微观区域元素分析，两者的区别在于扫描能谱面积大小不同。