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sem表面特征是什么,sem表面形貌
而透射电镜( TEM是电子束穿透样品并经过聚焦和放大的物象,透射电镜( TEM观察样品的内部微结构,如晶体结构、形貌等,扫描电镜( SEM提供样品表面及其组成的信息
晶体中的原子周期性排列,入射电子碰撞它们会在某个特定方向上产生强散射波。 这通常被称为Bragg衍射2dsin=n。 这样,用透射电子束成像时,取向不同的晶粒可以得到不同的对比度,并对这些不同的取向进行反应,形成衍射对比度。
由于背散射电子信号强度背散射系数,在样品表面的平均原子序数高的区域产生强信号,在背散射电子像中显示出明亮的对比度; 而背散射电子发射量与试样表面形貌相同,利用背散射电子获得试样形貌,因此可以根据背散射电子像(成分像)明暗对比判别相应区域原子序数的相对高低,有助于金属及其合金的微观组织分析。 特点:能量低( 50eV; 通常在距表层5~10nm深的范围内发射,对样品的表面形貌非常敏感。
可知原子序数和特征能之间存在对应关系,利用该对应关系可以进行成分分析。 表面污染的试样应在不破坏试样表面结构的情况下进行适当清洗和干燥; 研磨的最终目的是获得极小损伤的平坦表面,这些微小损伤可以在随后的研磨过程中短时间内消除。 解决方案:在现场故障排除中,发现项目周围不存在遮挡物。 那个有可能是组件的表面有灰尘或者没有污渍等。
在中心部分也有含有第二相小粒子的韧窝,但由于小粒子的尺寸小,入射的电子束在其表面激发很多二次电子,因此该粒子大多较亮。 电子枪发射的电子束通过聚光透镜和物镜聚焦成细小的高能电子束,在扫描线圈的作用下对样品表面进行线、帧扫描,电子束与样品表层物质相互作用,产生二次电子、背散射电子等各种信号。
产生:在入射电子激发样品特征x射线的过程中,外层电子跃迁到内层时辐射的能量不是以x射线形式发射的,而是被外层另一层电子吸收,摆脱原子核的束缚逸出。 这种被电离的电子称为俄歇电子。 年,英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM。
但背散射电子像的分辨率低于二次电子像; 背散射电子能量较高,只能检测出离开样品表面沿直线轨迹运动、射向探测器的背散射电子,背对探测器区域产生的背散射电子无法到达探测器,结果在图像上产生阴影,掩盖了这些部分的细节。 使用双聚光透镜后,照射到试料表面的电子束截面变小,试料不易过热; 减少照明孔径角,使电子束接近轴照明,电子束强度高,具有强亮度; 减少荷电效应; 衍射效果明显。
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