SEM为什么扫描速度最快，扫描速率的含义

　　　　SEM为什么扫描速度最快，扫描速率的含义

　　　　扫描范围缩小，图像表面粗糙度数值变小； 扫描速度与平均粗糙度呈开口向下的抛物线关系； 好的图像不一定要得出利用大像素参数进行图像扫描得到等结论。 对一维标准光栅进行了3种不同范围的扫描实验，从扫描图像中可以看到，3张图像应该分别存在8、4、2个光栅周期。 最后一级聚光镜也叫物镜，物镜上面安装有物镜光圈，数值孔径分别为0.1、0.2、0.3、0.4mm。

　　　　显示器的信号波形的幅度和电压根据输入的二次电子信号的强度进行调制，图像产生亮度和对比度。 在分光计中，由于可以将si(Li探针放置在离发送源近的地方( 10左右)，所以不需要经过结晶衍射，信号强度几乎没有损失，因此灵敏度高( 104cps/nA，入射电子束的每单位强度的x射线计数率) AFM的应用领域远远超过了STM，不仅具有与STM相同的分辨率，而且还完成了包括绝缘物质在内的各种样品的测试。

　　　　A由于Salicide上w不易粘附，需要先沉积玻璃层，再沉积w玻璃层是为了增加粘性而添加的层。 具体指标为： x方向位移：0-80mm Y方向位移：0-40mm Z方向位移：5-35mm倾斜角： 15o- 90o旋转角： 360o最大样品尺寸：150mm12mm扫描型电子显微镜样品平台量专用样品平台

　　　　其中一台是日立产S-530扫描型电子显微镜，搭载了INCA分光器。 另一台是日本电子产的JSM-5800扫描型电子显微镜。 栅极的线宽越小，整个器件就越小，动作速度也越快。 随着扫描速度的提高，图像拉伸变形越来越严重，实际速度达到1.00s时，扫描范围小于1.59m。 a接收光信号的optical microscope .虽然分辨率差，但速度快，容易使用。

　　　　在通常的操作条件下，其样品量(宽度、深度)以(~ 1-3m为基准，对于小的夹杂物和薄膜，实用性受到限制。 下图显示了BaF2晶体边界的扫描分析示例。 图( a是BaF2晶界的形态像和线扫描分析的位置，图( b是沿着图( a的直线位置的o和Ba元素的分布，在晶界可以看到o的偏析。 结构上分为电子光学系统、扫描系统、信号接收显示系统、样品移动交换系统、真空系统五个部分。

　　　　重元素( ca-u(20-30kv工作距离) WD表示从样品表面到极片的距离，与S-530型SEM组合使用的INCA谱仪的工作距离WD=28mm，仅在该距离x射线出射角a=