SEM像中SI是什么，SI的SI

　　　　SEM像中SI是什么，SI的SI

　　　　加速电压电子透射扩散(反应体积) (额外的信号)如BSE )低图像对比度可能隐藏表面微结构。 EDS是某些电子壶层的电子受外来粒子或能量激发，留下一个空位，随后外层电子迁移进入该空位，同时发射出特征x射线，导致不同壶层间电子迁移引起的能量差存在不同的谱线，EDS谱线就是

　　　　答： TEM/SEM利用的是电子束撞击材料时，根据元素的不同会产生不同的特征性x射线。 这些x射线的能量不同，TEM/SEM中的能谱探测器可以探测到。 EDS分析的最低含量为0.x% (注：该x随元素而变化。

　　　　您现在可以看到，对于大多数样品，TEM的EDS分析是半定量的，对轻元素只能进行定性。 大家能做的就是找出干扰尽量少的区域，取多点分析的平均值，选择合适合理的分析工具，尽量减少误差。

　　　　返回试样中a元素的相对含量CA与该元素产生的特征性x射线的强度ia(x射线计数)成比例。 CAIA是在相同的电子探针分析条件下，同时测定试样和已知成分的标准试样中的a元素的同名x射线(例如K射线)强度，通过校正计。 随着其普及和发展，SEM已经成为广泛的测试手段，在基础研究和应用研究中取得了显著的成果。

　　　　未标准化的定量分析方法目前还没有国家标准，但在非均相试样、粉体试样及要求较低的一般分析研究中，应用广泛，目前正在考虑制定非EDS标准化的定量分析方法的国家标准。 明视野图像：通过物镜孔径只对“直射电子束”进行放大图像化，用于一般的图像观察。 b ) Al或Si:SEM使用的是Al样品台或玻璃底座，因此在样品的较薄区域扫描光谱时，会发出基础信号。

　　　　SEM图显示颗粒分布不均匀的衬底不干净纳米颗粒不干净：可以用多种溶剂反复洗涤，超纯水、乙醇、丙酮等。 暗场图像(使用物镜孔径，只对一方的“衍射电子束”进行放大图像化，用于缺陷、台阶、析出物的观察。 上海硅酸盐研究所李香庭教授对SEM和电子探针的EDS分析结果进行了比较系统的描述，我摘录如下。

　　　　扫描电镜( SEM )是一种大型精密仪器，为微观世界探测提供了新的研究手段，不仅涉及植物学、医学、微生物学、古生物学、考古学、材料学、化学、物理学、电子学、地质矿物学、食品科学等领域，而且涉及半导体工业、陶瓷工业、化工、石油工业

　　　　SEM的样品制作比较简单，与厚度无关，一般电子束深度只有几微米，定量时放入该样品的标准样品(如纯Si可以选择纯Si，MgO可以选择MgO，许多国家级标准样品)进行校正