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sem扫描电镜好不好用,sem扫描电镜的作用
扫描电镜主要用于材料形貌/尺寸的观察与分析、有镀层材料膜层分析、材料微区EDS元素分析、细胞观察,同时在材料失效分析时进行元素测定、金相分析等。 它利用聚焦的窄高能电子束扫描样品,通过束与物质之间的相互作用,激发各种物理信息,实现对这些信息进行采集、放大、再成像以表征物质微观形貌的目的。
它用细聚焦的电子束照射样品表面,收集电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号并转换成数字信号,得到与样品相应的形貌或成分信息。 因此,用扫描电镜观察厚试样更为有利,可以获得真正的试样表面资料。
扫描电镜显示,空腹破坏口形态从深层次、景深角度呈现材料破坏本质,在教学、科研和生产中具有不可替代的作用,材料破坏原因分析、事故原因分析已成为判定技术合理性等方面的有力手段。
当样品不导电或导电不良时,样品表面多余的电子和游离粒子的积累不能及时传递,在一定程度上又会反复出现充放电现象( charging ),最终影响电子信号的传递,造成图像畸变、变形、晃动由于试料室的活动范围非常广,其他方式的显微镜的工作距离通常只有2-3cm,实际上只允许试料在2度的空间内工作,但在扫描电镜中不同。
因此,扫描电镜除了可以观察表面形貌外,还可以进行成分和元素的分析,以及根据电子通道图案进行结晶学分析,选择范围的尺寸可以为10m到3m。 扫描电镜是一种多功能的仪器,具有许多优良的性能,是用途最广的仪器。 可以进行以下基本分析。 目前,扫描电子显微镜(扫描电子显微镜SEM )经常用于微观位置和微观形态的观察。 是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种观察手段。
扫描电镜的分辨率介于光学显微镜和透射电镜之间,但通过对厚样品的观察比较,透射电镜还采用了镀膜方法,因此镀膜分辨率通常只有10nm,而不是对样品本身的观察。 可放大十几倍至几十万倍,基本包括放大镜、光学显微镜至透射电镜的放大范围。
与其他方式电子显微镜相比,观察中使用的电子探针的电流小(一般约10-10 -10-12A ),电子探针的束点的尺寸小(通常为5nm至几十纳米),因此电子探针的能量也小)
扫描电镜下,成像的信息主要是电子信息,按照现代电子工业技术的水平,即使是高速变化的电子信息,也能毫不费力地及时接收、处理、存储,实现几个动态过程的观察,可加热、冷却、弯曲、拉伸、存储在样品室内
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