SEM基于什么成像，SEM的成像原理

　　　　SEM基于什么成像，SEM的成像原理

　　　　它们分别由相应的收集器接收，经放大器依次按比例放大后，输送到阴极射线管网格，用于同步调制阴极射线管的电子束强度，即阴极射线管荧光屏上的亮度。 TEM常用于研究纳米材料的结晶情况，观察纳米粒子的形貌、分散情况，以及测量和评价纳米粒子的粒径。 SEM由电子光学系统、信号采集及显示系统、真空系统及电源系统组成。 SEM利用当细聚焦电子束扫描样本表面时激发的各种物理信号来调制图像。

　　　　选择低加速电压意味着使用低能电子束，其入射样本并受到散射的扩散区小，相互作用区接近表面，有利于表面形貌成像。 即，利用低电压成像技术，可以在1~5KV以下的加速电压下成像。 正常加速电压下观察半导体或绝缘体时，样品必须镀上导电膜，此时形态对比度是唯一的图像对比度，膜层完全掩盖了样品不同元素发射电子产率的变化，样品的成分对比度无法观察到。

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　　　　扫描隧道显微镜scanningtunnelingmicroscope ( STM ) Introduction原理经典电子理论)金属体内存在大量自由电子，从经典物理学角度讲，这些自由电子在金属体内的能量分布如图所示。 背散射电子不仅可以作为成像信号分析形态特征，还可以用来显示原子序数的对比度，定性地进行成分分析。

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　　　　SEM的成像原理与光学显微镜和透射电子显微镜不同，它以电子束为照明源，用光栅扫描方式对样品照射细小聚焦的电子束，通过收集和处理电子与样品相互作用产生的二次电子和背散射电子等获得微观形貌放大像。 年，英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM )。 SEM扫描电镜在断口失效分析、材料微观组织形貌观察及成分分析方面发挥了重要作用。

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　　　　扫描电镜的成像原理与透射电镜大不相同，不使用透镜制作放大图像，而是像CCTV系统那样，逐点扫描制作图像。 TEM将聚焦电子束投射到非常薄的样品上，透过样品的透射电子束或衍射电子束产生的图像分析样品内部的微观组织结构。 SEM是一种逐点成像的方法，将样品表面的不同特征按顺序和比例转化为图像，如二次电子像。

　　　　比较学习扫描隧道显微镜( STM )和原子力显微镜( AFM )，在恒流模式下工作时，STM的针尖会随着样品表面的波纹度上下移动，因此不会从表面浮起。