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sem是电磁透镜吗,电镜sem有辐射吗
3个口径的Einzel透镜由3个口径对齐的平板构成,可以具有相同的直径,也可以具有不同的直径。 在图2d中,加速的Einzel透镜显示三个电极产生三个透镜。 首先第一个和第三个是正电平,第二个是负电平。 背散射电子由入射电子束产生,这些电子与样品弹性碰撞,其中一部分反弹的是背散射电子。 电场只存在于电子开始进入电子行程的过程和结束的过程中,如何得到如图1b所示的透镜效果?
扫描电镜( SEM )利用电子束以纳米级分辨率对样品进行图像分析。 使这些粒子偏转的一种方法是通过两个板在电位u和- U产生的电场,如图1a所示。 当通过第二个板块时,电子会感受到相反方向的力并向透镜移动。 在原子内层的电子能级跃迁过程中释放的能量不是作为x射线释放,而是用该能量射出核以外的其他电子,离开原子成为二次电子时,该二次电子称为俄歇电子。
非弹性的后向反射电子通过入射电子与核外电子碰撞引起非弹性散射,不仅能量,方向也发生变化。 在电子光学中,Einzel透镜通常用于在透镜的入口和出口处拥有相等的电子电位。 当该散射过程发生在比较靠近样品表层的地方时,能量大于材料逃逸功的自由电子从样品表面逃逸,成为真空中的自由电子,即二次电子。
图2 )不同类型的静电透镜图像:单口径正负透镜( a,b )、双孔透镜( c )、三孔双凸透镜( d ) )。 原子核与外层价电子的结合能很小,原子的核外电子从入射电子中获得相应结合能以上的能量后,可以脱离原子成为自由电子。 3个口径的Einzel透镜由3个口径对齐的平板构成,可以具有相同的直径,也可以具有不同的直径。 扫描型电子显微镜的光路系统中也包括用于将电子束光栅化到试料表面的扫描线圈。
特征x射线是原子内层电子激发后,在能级跃迁过程中直接发射的具有特征能量和波长的电磁波辐射。 图2c显示了两个平板之间的电场位于顶板上的加速双孔透镜。 在电场的影响下,电子的偏转角度取决于电子能量、板间的电场以及板的长度。 在图2d中,加速的Einzel透镜显示三个电极产生三个透镜。 第一个和第三个是正电平,第二个是负电平。
另一方面,二次电子来自样品原子。 这些是由入射电子与样品非弹性碰撞引起的。 为了更好地理解这些透镜的工作原理,我们来回顾一下电子是如何在静电场中偏转的。 我对台式扫描电子显微镜( SEM )和落地式扫描电子显微镜的区别很感兴趣,哪种扫描电子显微镜对你的研究最有利?
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