sem有几大系统组成，sem有几大系统组成

　　　　sem有几大系统组成，sem有几大系统组成

　　　　试料室下方有物镜，其作用有两个，一是放大形成试料的第一个像，二是通过调节物镜线圈的激励电流，相应地改变物镜的焦距以聚焦对象。 首先出现的是光学显微镜，它以可见光作为照明光束照射样品，利用成像放大系统处理照明光束和样品的作用结果，构成适合人眼观察的放大像。 扫描电镜的成像过程与电视成像过程有许多相似之处，与透射电镜的成像原理完全不同。

　　　　扫描电子显微镜除了可以观察表面形貌外，还可以进行成分和元素的分析，以及根据电子通道图案进行结晶学分析，选择范围的尺寸可以从10m到3m。 镜头系统1 .基本上要求的镜头系统的作用有三个： (1)将虚拟光源的尺寸缩小到几十微米到5nm (以下，且在几十微米到几纳米之间连续可变；2)控制电子束的张开角，在10-2~10-3rad范围内可变； (3)形成的聚焦电子束能够在试料表面呈格子状扫描，并且扫描角度范围可变。

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　　　　扫描电镜是一种大型分析仪器，广泛用于观察各种固体物质表面超微结构的形态和组成。 扫描电镜的焦深比透射电镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。 通过三次聚光透镜和光圈照射样品，只有电子束与电子光路系统的中心对准时才能获得最大的亮度。

　　　　答：流程集成工程师( Process Integration Engineer的主要工作是整合各部门资源，不断改进流程，确保产品成品率( yield稳定良好。 通过首页技术报道，了解sem电子扫描电镜各组成部件的特点。 通过原子外层电子序列的量子化，形成了能带、k层、l层、m层、n层，因此得到了具有特征能量的一组x射线峰。

　　　　该真空系统可获得10-3~10-5Pa的真空度，基本满足扫描电镜的一般要求，其缺点是容易污染样品和电子光学系统的内壁。 样品室四面墙上应有几个备用窗，除安装电子探测器外，还可同时安装其他探测器和谱仪，进行综合研究；4)准备与外部布线的接线板，以研究电场和磁场的对比度效应。

　　　　A由于Salicide上w不易粘附，需要先沉积玻璃层再沉积w玻璃层是为了增加粘性而添加的层。 二、分辨率扫描电镜分辨率有两层含义：对微区成分而言，指可分析的最小区域； 在图像中，那意味着要分辨两点之间的最小距离。 电子束的入射条件(加速电压、电子束的流动及束点的大小)是一定的，二次电子发射量与试料的入射角等有密切的关系。

　　　　二次电子扫描像分辨率最高，与入射电子束直径基本相等，一般为6-10nm，背散射电子为50200 nm，吸收电子和x射线在100-1000nm处影响分辨率的主要因素有信噪比、杂散电磁场和机械振动等。