SEM EDX的光斑多大，sem edx光谱怎么分析

　　　　SEM EDX的光斑多大，sem edx光谱怎么分析

　　　　EDX分析以其诸多优势，广泛应用于制造业、研究领域、能源资源管理、快消品等诸多行业。 在能谱仪中，用EDX探测器、二次电子探测器及半导体背散射电子探测器，接收入射电子和样品产生的x射线、二次电子及背散射电子进行SEM/EDX分析。 透射电镜TEM样品厚度z以小于100nm为宜，过厚，电子束难以穿透，分析效果较差。

　　　　内层电子离开原子后，高能级外层电子可能填充这些低能级空穴，多余的能量作为x射线释放，但该x射线的能量分布可以反映特定的元素和跃迁特性。 这与加速电压有一定的关系，加速电压越低，SE分辨率越高，适合表面形状的观察。 EDX是通过分析试样发出的元素特性x射线的波长和强度来实现的，通过元素特性x射线波长的不同来测定试样中所含的元素。

　　　　HREELS是高真空的单机设备，可以研究气体分子在固体表面的吸附和离解状态。 XPS俄歇谱价带谱刻蚀(小于5nm，EDS采样深度约1um。 与传统的扫描电镜一样，EDX技术几乎不需要样品的制备，且无损伤，不损伤样品。 为了更好地理解x射线的产生原理，我们必须弄清楚每个原子都有特定数量的电子，电子处于特定的能级。 x射线产生原理： x射线的产生是入射电子与样品非弹性碰撞的结果。

　　　　EDS和EDX都是如何选择能谱的，在实际操作中哪个更合适呢？ 二次电子在距离试料表面10nm处产生，背散射电子在距离表面300nm处产生，x射线在距离试料1000nm处产生。 由于电镜的高压限制，透射电子束一般只能透射几十纳米以下的薄层样品。 TEM的样品厚度优选小于100nm。 太厚，电子束难以透过，分析的图像不清晰，图像不好。

　　　　百度智慧云提供计算服务，百度预读、文库协议、网站地图、百度营销。 备注：并不是越低越好。 这是因为，加速电压降低时探针的直径会变大，直接大于二次电子的深度时会失去信息，不适合观察。 每种元素都有特定的x射线，对应于相应的x射线能量。 如上表所示。 场发射扫描电子显微镜( FESEM对测试样品的要求是什么？

　　　　从寻找食品污染物到识别机械故障，再到预测飞机零部件的腐蚀方式，能谱分析( EDX或EDS是目前材料科学家广泛采用的技术。 上海硅酸盐研究所教授李香庭对SEM和电子探针的EDS分析结果进行了较为系统的阐述，我摘录如下： EDS分析的最低含量为0.x% (注：该x随元素的变化而变化。