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sem电镜是什么意思,sem电镜是什么意思呢
原子的核外电子从入射电子中获得比相应的结合能更大的能量后,可以脱离原子成为自由电子。 电子对磁场非常敏感,电子在显微镜室的路径可以通过调节这些电磁透镜可以控制的电流大小来控制磁场强度。 极细的高能入射电子撞击样品表面扫描时,受激区域产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续光谱x射线、背散射电子、透射电子、可见、紫外、红外光区产生的电磁辐射。
聚焦镜决定电子束的尺寸,物镜主要将电子束聚焦在样本上。 扫描电镜( SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的微观形貌观察手段,可以直接利用样品表面材料的物理性能进行微观成像。 因此,通常电子显微镜照片是指收集到的二次电子信号所变换的图像,简称为形貌像。 其作用是提供入射电子束在样品表面上和阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号。
特征x射线是原子内层电子激发后,在能级跃迁过程中直接发射的具有特征能量和波长的电磁波辐射。 背散射电子由入射电子束产生,这些电子与样品弹性碰撞,其中一部分反弹的是背散射电子。 目前的扫描电镜装有x射线能谱仪,可以同时观察微观组织形态和分析微观领域成分,是目前非常有用的科研仪器。 背散射电子成像的分辨率一般为50-200nm (相当于电子束光斑直径)。
在扫描电镜SEM的情况下,用于成像的两种电子分别是背散射电子( BSE和二次电子。 根据电子束发生装置的不同,扫描电镜可以分为钨丝扫描电镜、六硼化锇电镜、场发射电镜(场发射分为热场和冷场)。 背散射电子是指被固体样品原子反射的入射电子的一部分,包括弹性背反射电子和非弹性背反射电子。
扫描线圈是扫描电镜的关键部件,通常置于末透镜之间,置于末透镜空间,使电子束在进入末透镜强磁场区前发生偏转,方向一致的电子束通过末透镜中心照射到样品表面; 扫描电镜采用双偏转扫描线圈。 文章说明了什么是SEM,说明了SEM设备的主要工作原理。 非弹性的后向反射电子通过入射电子与核外电子碰撞引起非弹性散射,不仅能量,方向也发生变化。
扫描型电子显微镜的光路系统中也包括用于将电子束光栅化到试料表面的扫描线圈。 扫描电镜通常有三个聚光透镜,前两个聚光透镜是用于减小电子束斑点尺寸的强力透镜。 在原子内层的电子能级跃迁过程中释放的能量不是作为x射线释放,而是用该能量射出核以外的其他电子,离开原子成为二次电子时,该二次电子称为俄歇电子。
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