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扫描型电子显微镜的工作原理如图1所示,从上部电子光源(通常称为电子枪)发射电子,电子在加速电压(通常200V~30KV的作用下,经过2、3个电磁透镜聚焦成细电子束,该入射电子束聚焦在物镜上部的扫描线圈上镜筒内设计上,下两组扫描线圈可以对电子束进行从左到右、从上到下的有序扫描,逐点、逐行依次扫描试样表面(如图15所示)。
斯图加特大学应用量子技术中心ZAQuant的Mario Hentschel博士阐述了该小组研究的课题和应用、实验室面临的课题以及如何利用蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 560应对这些课题。 通过引入新功能提高系统能力,充分利用所有GeminiSEM集成到蔡司岑酷睿生态系统所带来的优势。
如图17所示,Regulus 8100的扫描电子显微镜包括减速加速电压的功能,可以选择较高的加速电压以稍微高的能量加速电子束。 当物镜极片即将在样品表面着陆时突然受到某相反电位的阻力使着陆电压下降时,不仅可以获得波长短、像差小、分辨率高的一系列优点,而且可以减少样品的损伤,即获得低电压高分辨率的图像。 DE.Mario Hentschel博士,德国斯图加特大学第四物理研究所和应用量子技术中心。
更灵活的成像工具配备-Gemini1镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 360可实现多种样品的高分辨率成像、分析,扩大多种应用需求。 使用扫描电镜的aBSD或AsB检测器,可以重建完整的三维表面模型以表示样本的表面形态信息。 配备更强分析能力Gemini 2镜筒的蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM 460可以应对更复杂的分析工作。
ZEN Intellesis -适用于通过高级AI技术、机器或深度学习进行图像分析。 以下内容可以进一步了解Gemini电子光学系统的三个独特设计,探索蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM的应用潜力。 蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM兼具优异的成像能力和分析能力,无需依赖浸没式物镜即可轻松实现1 kV以下的亚纳米级分辨率。
如图7所示,在试样表面微观的尖峰和突起的边缘中,如果入射的电子束正好切掉边缘部入射,则在该边缘部产生的二次电子的数量变多,产生的二次电子也容易逃逸,还具有二次电子从试样表面脱离从而面积增大的效果
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