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由于入射电子束在样品上的扫描和阴极射线管的电子束在荧光屏上的扫描是用同一个扫描发生器调制的,因此,可以保证样品上的任意物点和荧光屏上的任意像点在时间上和空间上的对应; 另外,由于二次电子激发量随试料表面的凹凸程度而变化,阴极射线管的荧光屏上会出现反映明暗程度不同的试料表面形态的二次电子像。
背散射电子( Backscattered Electrons )入射电子与试料发生弹性碰撞,从试料表面逃逸的高能电子,其动能与入射电子的能量相同或稍小。 双束聚焦离子束扫描电镜LYRA :基于高分辨率肖特基FEG- SEM镜筒和聚焦离子束镜筒。
由于电子束与试料作用体积( interaction volume )的关系,特征性的x光的产生与作用体积的大小有关,因此对于平面的试料,EDS或WDS的空间分辨率受到作用体积的大小的限制。 阴极发光( Cathodoluminescence )电子束引起的电子-空穴对复合时,会发射各种波长的电磁波。 这是阴极发光( CL ),并根据材料而发射不同颜色的光。
日立翻新实物特征尺寸测定用扫描电子显微镜CD-SEM S9920。 德国蔡司场发射扫描电镜SEM高分辨率电镜SIGMA500进口。 扫描显微镜的重要特色之一是具有约为光学显微镜300倍的超宽景深( depth of field ),因此扫描显微镜适合观察表面起伏比光学显微镜大的样品。 德国蔡司ZEISS扫描电镜SEM EVO25钨丝高分辨率进口。
江苏省苏州无锡南通扫描电镜SEM钨丝扫描电镜EVO 15。 电镜具有能谱( EDS ),不仅可以在不破坏样品的情况下应用于宝玉石形貌像的制作,而且成分分析也能快速进行(图13-2-3,廖尚仪,2001 )。 电子束和样品的作用体积( interaction volume )、作用体积有约数微米( m )的深度,其深度过宽呈梨状。
光圈像差( Aperture diffraction ) :电子束通过小光圈电子束会产生衍射现象,因此可以通过使用大光圈来改善。 因为阴极射线管中的电子束和镜筒中的电子束同步扫描,所以阴极射线管的亮度根据从试样激励的电子信号的强度而调制,从试样表面的任意一点收集的信号的强度与阴极射线管的画面上的与其对应的点亮度一一对应,所以根据试样的状态而不同
一般的钨型扫描电子显微镜装置可以获得200000倍的倍率,但实际操作后,大部分都是20000倍,图像变得不清晰。 但是,如果样品的表面形貌和导电性合适,最大倍率可以达到650000倍。
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