sem扫描电镜分析什么，sem扫描电镜样品制备方法

　　　　sem扫描电镜分析什么，sem扫描电镜样品制备方法

　　　　在高倍率下，即使在阿普雷奥的长工作距离、例如10mm的分析工作距离下也能发挥优异的分辨率性能。 Apreo是研究纳米粒子、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台，其创新的末级透镜设计，丝毫不降低对磁性样品的分辨率。 背散射电子像观察对合金研究、失效分析、材料中杂质检测非常有用。 其作用是为了得到扫描电子束作为使试料产生各种物理信号的激发源。

　　　　图4.23金相组织光镜照片500检测仪器： MEF4M金相显微镜及图像分析系统(德国LEICA )例如，为了观察60nm的细节，观察m有效=0.3*106nm/60nm=5000倍，即试样表面的60nm的细节

　　　　但是，分辨率不直接与电子束的直径相同。 这是因为，通过入射电子束与试料的相互作用，入射电子束在试料内的有效激励范围将大幅超过入射电子束的直径。 它利用聚焦的窄高能电子束扫描样品，通过束与物质之间的相互作用，激发各种物理信息，实现对这些信息进行采集、放大、再成像以表征物质微观形貌的目的。

　　　　其中包括可选的低真空(高500 Pa )策略，通过现场验证的镜式差动压缩机机构和专用低真空检测器，不仅能缓解任何样品的电荷，还能提供良好的分辨率和较大的分析电流。 SEM的倍率扩大是通过改变镜筒内扫描线圈电流的大小来控制的，这样可以改变样本扫描区域的大小，进而改变倍率。 此外，还可以将扫描电镜和其他分析仪器组合起来，在观察微观形貌的同时进行物质微观区域的成分分析。 例如，x射线能量色谱仪( EDS )

　　　　否则，电子束照射试样时，会形成电子堆积，阻止入射的电子束进入试样内和向试样表面发射电子。 Thermo Scientific Apreo SEM具有广泛的适用性，能够在短时间内为材料研究者提供优异的图像质量。 虽然暗电子像缺乏细节，不如二次电子像清晰，但从暗电子像的对比度快速推导出一些元素的定性分布概念，有利于进一步制定特征x射线定量分析方案。

　　　　Apreo还提供了一些受欢迎的可选探测器来补充探测能力，例如定向后向散射探测器( DBS )、STEM 3和低真空气体分析探测器( GAD )。 每个Apreo都标配了多种处理绝缘样品的策略，包括SmartSCAN、漂移补偿帧积分( DCFI )、电荷滤波等高真空技术。

　　　　二次电子扫描像分辨率最高，与入射电子束直径基本相等，一般为6-10nm，背散射电子为50-200 nm，吸收电子和x射线为1001000nm。