SEM孔径分布怎么画？从基础到实践全面解析

站浪调整文字大小：【大中小】 | 来源：站浪引爆流量第一站 | 作者：编辑部-洪思贤

| 2024年10月21日 09时35分30秒阅读：次 |

什么是SEM孔径分布？

SEM是扫描电子显微镜的缩写，它通过扫描样品表面的电子束来得到显微图像。而孔径分布则是指电子束的射出角度分布，孔径越大，电子束横向分布越广，从而影响SEM成像的分辨率。因此，SEM孔径分布的掌握对于正确获取样品表面的准确形貌至关重要。

如何描绘SEM孔径分布曲线？

SEM孔径分布曲线表示相对强度与孔径大小之间的关系，通常使用直方图或者高斯曲线拟合的方式呈现。我们采用图像处理软件ImageJ的FFT滤波工具估算实验数据的SEM孔径分布曲线。其中，FFT滤波又称傅立叶滤波，将时间函数转化为频率函数，真正揭示了信号与频率之间的内在联系。

怎样调整SEM孔径分布的峰位？

SEM孔径分布曲线的峰位可以通过调整透镜或者选择合适的加速电压实现。研究表明，合适的SEM孔径分布能提高SEM成像分辨率，降低图像噪声，使文献中的比较数据更可靠。

结论

SEM孔径分布与SEM成像质量密切相关，掌握SEM孔径分布的测量方法和峰位调整有助于提高SEM成像的成像质量。通过本文的介绍，我们希望读者能够更好地理解SEM孔径分布，运用图像处理软件更加准确地描绘SEM孔径分布曲线。

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