SEM制样试剂大揭秘

SEM制样试剂大揭秘

制备SEM样品是靠试剂来完成的，可是到底有哪些试剂才能高效制备SEM样品呢？本文将从试剂的类型、制备SEM样品的步骤、影响SEM样品质量的因素等三个方面进行介绍，让你对SEM制备样品有一个全面的了解。

试剂的类型

1.去离子水

制备SEM样品的第一步是样品的固体样片化，去离子水可以作为固体样品表面的清洁剂，清洗表面并促进试剂的渗透。在制备好后的SEM样品中，去离子水极度纯净，会有效避免利用SEM时样品受到微生物污染。

2.有机溶剂

一些不同种类或极性不同的有机溶剂均可以用于SEM试样制备中。例如，无极性烷烃液可以用于干燥样片中的丙酮或酸性氢氧化钾（KOH）溶液。经过干燥和吸湿首先去除样品中水分和其他印迹，然后在处理期间不会被任何液体干扰。使用有机溶剂处理之后，可以诱导样品刚性解离并调整样品在SEM下的导体性。

3.化学式

制造SEM样品所使用的化学式通常为氧化锡（SnO2），氧化银（AgO）和车削液，用于提高在SEM观察下的导体性。在SEM样品的制备过程中，化学制剂的选择将影响制备的本质。

制备SEM样品的步骤

制备SEM样品所需的步骤与方法因样品类型而异。一般来说，制备SEM样品的步骤包括样品切割、样本表面的处理、金属喷涂。我们将从这三个方面来具体分析。

第一步：样品切割

样品的切割可以用剪刀、刻刀或手术刀等方式完成。请注意，在切割过程中需加细心小心，以免影响样品表面的质量。虽然切割精度偏差可能在SEM视野内难以发现，但需者还是按照最小精度需要来对样品进行切割操作。

第二步：样本表面的处理

样品处理可以使用多种不同的方法，包括酸性溶液处理、腐蚀处理、电解质处理、微型磨料喷砂处理等。所选方法需要根据实际情况进行选择，以达到最佳的SEM样品质量。

第三步：金属喷涂

SEM样品金属喷涂可以提高样品的导电性和样品表面的均匀性。热蒸镀和溅射法是最常见的两种金属喷涂方法，其中热蒸镀法又可以分为热丝和电子枪两种。

影响SEM样品质量的因素

制备 SEM 样品最重要的目标是针对样品的形状、表面质量等属性优先选取适宜的试剂及工艺来提高样品观察质量。选择错误会导致样品不透明、灰度不规则以及表面不均匀等问题。下面情况应引起注意：

1. 切削精度。SEM所观察的样品是非常微小的。因此，需要样品切割工具具有高精度。更不可忽视的是，SEM样品本身尺寸越小，所需的精度也就越高。

2. 样本表面的处理。使用过程中，过多腐蚀会使SEM样品的表面粗糙度增加，导致观察结果质量下降。

3. 金属喷涂。SEM样品的金属喷涂应该光滑均匀，喷涂的时候避免产生气泡。最好在未实施SEM操作之前对喷涂金属层进行观察，以免SEM样品因金属层存在问题影响电子影像图质量。

总结

根据设计规范制备SEM样品的正确步骤和实施方法，这需要从样品选择、表面准备到金属喷涂过程中的每个区域的规范化处理。 随着技术的不断发展和需求的日益增长，SEM样品制备已成为很多行业十分重要的一方面。本篇文章通过试剂的类型、SEM样品的制备步骤、影响SEM样品质量的因素等三个方面进行了介绍，以帮助读者了解更多制备SEM样品的方法。