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sem测什么直径,sem尺寸怎么计算
最后通过该扫描电镜测试工具软件直接接收稿件日期: 2008-03-13作者简介:盛克平( 1950-),男,上海人,高级工程师,主要研究方向为计量测试。 另外,光点直径为加速度电压(高加速电压下光点尺寸变小)、工作距离)距离越大光点直径越大)、物镜光圈)小光圈时光点直径变小)。 摘要:论述了用内标法用扫描电镜测量固体颗粒直径的方法、实验、计算方法及不确定度的测量评定。
束斑的直径与电子枪的高斯直径、末级光阑的衍射效应、色差和电磁透镜引起的球面像差有关。 测量值的不确定度取决于图像的像素等效尺寸,但由于飞利浦xl30 ESEM的图像的横向存储像素较少(图像的横向像素等效尺寸不一定与纵向像素等效尺寸相同),在用同一图像得到相同的可统计测量的粒子个数的情况下
式中,s是被测定粒子标准偏差; xi是被测粒子第I次测定值; x是被测定粒子的测定平均值,n是合计测定。 Antonis不断拓展Phenom飞纳电镜在各个领域的应用,不断探索和创新更多的使用技术。
标准物质的不确定度u(d0 )是标准物质证书提供的数据。 跟踪平均粒径值为0.8950.008的置信概率为95%,估计接近正态分布,因此跟踪标准不确定度为0.008m/2; 其粒径大小的统计标准偏差为0.009m,为了将粒子的平均粒径作为标准物质的粒径测定值,平均粒径的标准偏差为1/2。
文档格式:docx文档大小: 631.29K文档页数: 4页首页/插页数:0/0收藏夹人数: 0评论次数: 0文档热:文档分类:分类系统标签: sem固体粒径测量粒子。 由表1可知,SRM 1 690的测定平均值DX为0.916 m,被测粒子的测定平均值PX为0.555 m,SRM 1 690的实际可追溯性值由标准物质持有的证书[1]获得,并被标明。
被测粒子标准偏差从表中可以看出是被测粒子的标准偏差; xi是被测定粒子第二次测定值; x是被测定粒子的测定平均值,n是合计测定次数。 其瞄准的不确定度是图像数。 因为用该测量工具软件测量显示画面上的图像时,横向( x方向)显示像素的等效尺206红外和激光工程:高精度几何量光电测量和校正技术的确定度可以忽略不计。 如果用户只需要低倍率的图像拍摄,建议增加光束点直径。 这样,从图像中生成更多的电子信号,看起来更清晰。
对测量不确定度的评价进行了讨论,认为用内标法用扫描电镜测量微小物质长度是一种操作方便、能获得较小测量不确定度的方法。
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