SEM主要基于什么成像，sem有哪些成像信号

　　　　SEM主要基于什么成像，sem有哪些成像信号

　　　　SEM的成像原理与光学显微镜和透射电子显微镜不同，它以电子束为照明源，用光栅扫描方式对样品照射细小聚焦的电子束，通过收集和处理电子与样品相互作用产生的二次电子和背散射电子等得到微观形貌。 由于二次电子和背散射电子的发射方向均位于样品上方，因此SEM的检测器也位于样品上方(这也是与TEM存在较大差异的地方)。

　　　　扫描电镜( SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的微观形貌观察手段，可以直接利用样品表面材料的物理性能进行微观成像。 目前，主流的透射电镜镜筒由电子枪室、6~8级成像透镜和观察室等组成。 SEM中的电子从电子枪发射后被加速，然后由磁透镜聚焦，最终作为点照射到样品上。 SEM产生的电子束撞击样品原子的电子层，产生x射线，释放出不同程度的能力，从而判断原子的种类。

　　　　透射电子显微镜是指用透射试样的电子束成像的电子显微镜。 在高真空系统中，电子枪发射电子束，通过研究对象的试料，用电子透镜聚焦放大，在荧光屏上显示高度放大的物象。 另外，能够进行摄影记录的最普通的电子显微镜- -电子显微镜电子扫描型显微镜是用电子探针扫描试料表面形成图像的电子显微镜。 光和物体发生作用，出现在人眼中； 在SEM/TEM中，电子代替光与物体相互作用并出现在屏幕上。

　　　　对于纯物质的单成分样品，SEM图中斜率大的一侧变亮。 SEM收集二次电子和背散射电子； TEM收集透射电子和散射电子。 扫描电镜的成像原理与透射电镜大不相同，不使用透镜制作放大图像，而是像CCTV系统那样，逐点扫描制作图像。 背散射电子不仅可以作为成像信号分析形态特征，还可以用来显示原子序数的对比度，定性地进行成分分析。

　　　　三、扫描电镜结构： SEM由电子光学系统、信号采集及显示系统、真空系统及电源系统组成。 二次电子信号由探测器采集并转换为通信信号，经视频放大后输入显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。 年，英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM。

　　　　该系统的作用是将电信号转化为阴极射线管电子束强度的变化，得到亮度变化的扫描图像，同时以照片方式记录或以数字形式存入计算机。 由于二次电子信号主要来源于样品表层5-l0 nm的深度范围，其强度与原子序数无明显关系，适合显示形态对比度。 由于扫描成像，入射电子束点的直径小于入射电子束点的细节。