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sem仪器有哪些,SEM是什么仪器的缩写形式?
因此,为了区分这些信号并获得必要的信息,需要二次电子检测器、x射线分光分析器等不同的检测器。 或使用Crossbeam 550实现更严格的特征,大仓室提供了更多的选择。 能谱的分辨率在EDS中约为100~200eV,在WDS中为5~10eV。 样品仓大小及接口标准样品仓有18个扩展接口标准样品仓有18个扩展接口,增大样品仓有22个扩展接口。
凭借蔡司Crossbeam系列的模块化平台设计理念,您可以根据需求的变化随时升级设备系统。 蔡司Crossbeam系列的FIB-SEM将场发射扫描电子显微镜( FE-SEM )优异的成像分析性能和新一代聚焦离子束( FIB )优异的加工性能相结合。 许多产品的参与者可能有多人。 那就是有很多人的画像,比如竞争路线、私人、竞争者、主管、上司等。
背散射电子( Backscattered Electrons )入射电子与试料发生弹性碰撞,从试料表面逃逸的高能电子,其动能与入射电子的能量相等或以下。 直接观察大试样的原始表面:可以直接观察直径100mm、高度50mm或更大的试样,试样形状没有限制,也可以观察粗糙面,省去制作试样的麻烦,实际上可以观察到试样本身物质成分的不同对比度(背散射电子像)
Crossbeam为制作超薄、高质量的TEM样品提供了一套解决方案,可以有效地准备样品,通过TEM或STEM实现透射成像模式分析。 SEM装置为扫描电镜,是用于高分辨率微区形貌分析的大型精密装置,具有景深大、分辨率高、图像直观、立体感强、放大倍数大、被测样品在三维空间内可旋转和倾斜等特点。
样品电流( Specimen Current )电子束照射样品时,一部分产生二次电子和背散射电子,另一部分留在样品中,样品接地后产生样品电流。 有些探测器很贵,例如Robinsons背散射电子探测器,这种情况可以用二次电子探测器代替,但需要设置偏置电场来筛选二次电子。 机器系统中最多可以配置5个集成窄带激光器,另外,也可以连接到外部。
根据德布罗利波动理论,电子的波长只与加速电压有关。 有两种电子检测器,一种是闪烁计数器检测器( Scintillator ),常用于检测能量低的二次电子,另一种是固态检测器( solid state detector ),用于检测能量高的反射电子
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