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sem呈现什么现象,sem主要解决什么问题
例如,若显示器的画面尺寸为10cm,电子探针的扫描宽度为1mm,则放大倍率为100倍,若扫描宽度为10m,则为10000倍。 当样品不导电或导电不良时,样品表面多余的电子和游离粒子的积累不能及时传递,在一定程度上又会反复出现充放电现象( charging ),最终影响电子信号的传递,造成图像畸变、变形、晃动
对于块状导电样品,基本上不需要任何制备,只要大小适合电镜样品底座尺寸,可以直接用导电胶带将样品粘接在样品底座上,用扫描电镜进行观察。 为了防止伪像的存在,放置样品前用丙酮或酒精等清洗,必要时用超声波清洗机清洗。 放大倍率为m、人眼分辨率为0.2mm、设备分辨率为5nm时,有效放大倍率M=0.2106nm5nm=40000 (倍)。
如图19所示,当电子入射到成分均匀的晶体样品时,利用背散射电子的强度随晶体方向的变化,可以通过图像观察晶体取向的差异。 所谓的电子通道对比度( Electron Channeling Contrast:ECC )如图20所示,是稍微倾斜结晶样品后对比度发生变化的一大特征。
如图21所示,样品表面存在阶梯状的凹凸或尖细的突起物时,凹凸的边缘部分会变成一定宽度的明亮边缘而不是尖锐的线,或者突起物整体异常变亮的现象称为边缘效应。 为了忠实地再现样品的表面形貌,薄膜厚度尽量薄为宜,但样品表面形貌复杂,薄膜过薄无法形成连续膜时,往往会出现带电现象。
当加速电压为10kV时,样品表面细节不丰富,部分图像存在拖尾现象;当加速电压为1kV时,不仅样品表面细节丰富,而且图像无拖尾现象。 目前,使用w灯丝的SEM,分辨率可达3nm-6nm,场发射源的SEM分辨率可达1nm。 SEM成像通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。 SEM成像通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。
Le Bel对秘鲁Santarosa斑岩铜矿中的石英包裹体进行了研究,其中发现了氯化钠、氯化钾、铁绿泥石等子矿物。 年,英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM )。 失效分析是一门发展中的新兴学科,近年来开始由军工企业向一般企业推广,它一般是根据失效模式和现象,通过分析和检验,模拟再现失效现象,找出失效原因,挖掘失效机理的活动。
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