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例如,为了观察60nm详细情况,m有效=0.3*106nm/60nm=5000倍,即为了观察试样表面的60nm的详细情况,理论上SEM倍率为5千倍就足够了,但实际上选择比该值大的倍数,例如2万倍即可
x射线产生的x射线本质上是电磁波,波长范围约为0.01 nm~10 nm,与可见光( 400—700 nm )不同,x射线的短波长可以检测物质内部的微结构,自被伦彭发现以来,一直用于观测物质的内部结构。 检测效率高的X射线采集立体角大、空间分辨率高,有利于微区分析。
面扫描分析( x射线成像)用电子束在试料表面进行光栅扫描,固定在要测量光谱仪(波、能量)的某个元素的特征——x射线信号)波长或能量)的位置上,可以在荧光屏上得到该元素的面分布图像。 x射线荧光是被分析试样接受x射线的照射而发出的x射线,包含被分析试样的化学组成的信息,通过上述x射线荧光的分析来决定被测量试样中的各成分的含量的设备是x射线荧光分析装置。
荧光x射线分析又称二次x射线能谱分析,本系统是利用一次x射线光子或其他微观粒子激发被测物质中的原子,产生二次特征x射线(荧光x射线)进行物质成分分析和化学状态研究的方法。 XRF:X射线荧光光谱分析( X Ray Fluorescence )通常,对物质照射x射线而产生的二次x射线称为x射线荧光( x-rayfluorescence ),用于照射的x射线称为一次x射线。
激发样品元素的特征x射线,分析特征x射线的波长(或能量)了解元素种类分析特征x射线的强度就可以知道元素的含量。 挑战更高效的高内涵分析: In Cell Analyzer高内涵分析系统。 谱仪的优点: (1)定性分析速度快,几分钟内即可分析并确定样品中的大部分元素。
用x射线照射试样时,试样可以激发各种波长的荧光x射线。 必须将混合的x射线按波长(或能量)分开,分别测量不同波长(或能量)的x射线强度进行定性和定量分析。 为此使用的机器被称为x射线荧光光谱仪。 x射线衍射仪利用衍射原理,准确测量物质的晶体结构、织构和应力,准确进行物相分析、定性分析、定量分析。 在机械零件断裂失效分析中,断裂主要由材料缺陷引起。 例如金属和非金属夹杂物、结晶偏析、气孔等。
试样中a元素的相对含量CA与该元素产生的特征性x射线的强度ia(x射线计数)成比例。 CAIA是在相同的电子探针分析条件下,通过同时测量样品和已知成分的标准样品中a元素的同名x射线(例如K射线)强度并进行修正计算,可以得到样品中a元素的相对含量CA )。
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