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sem多少倍,SEM的放大倍数
电子枪的必要特性是亮度高,电子能量的色散( Energy Spread小。 目前常用的种类有三种:钨丝( w、六硼化镧( LaB6)丝、场发射),不同丝的电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等都有差异
电子束感应电流( Electron-beam induced Current,EBIC :如果电子束照射到一个p-n接合面( Junction,则会产生过剩的电子-空穴对,在这些载流子扩散时p-n接合面电镜包括扫描电镜和透射电镜,扫描电镜( sem可观察三维结构,分辨率几十埃,倍率为20万至40万倍。
例如,若显示器的画面尺寸为10cm,电子探针的扫描宽度为1mm,则放大倍率为100倍,若扫描宽度为10m,则为10000倍。 显示画面的大小会发生变化,放大倍率也发生变化。 由于历史原因,一般以长12cm宽10cm的屏幕(根据制造商的不同会有一些差异)为基准来表示放大倍率。 在M=Ac/As式中,扫描型电子显微镜倍率可以表示为Ac—荧光屏上图像的边长; As—电子束在样品上的扫描振幅。
电子束和样品的作用体积( interaction volume、作用体积有约数微米( m的深度,其深度过宽呈梨状。 通常,Ac是固定的,通常为100 mm。 通过改变As可以改变倍率。 背散射电子( Backscattered Electrons入射电子与试料发生弹性碰撞,从试料表面逃逸的高能电子,其动能与入射电子的能量相同或稍小。
光学显微镜的放大倍率最大为约1500倍,扫描型显微镜可以放大到10000倍以上。 用透射电镜( tem观察二维结构,分辨率达几埃,放大倍率最高可达100万倍,在纳米级也能看到。 电子探测器有两种。 一个是闪烁计数器检测器( Scintillator,常用于检测低能量的二次电子。 另一个是固态探测器)固态探测器,用于探测高能量的反射电子。
六硼化镧( LaB6)灯丝的功函数为2.4eV,低于钨丝,因此即使是相同的电流密度,使用LaB6时也可以在1500K下达到,而且由于是高亮度,因此寿命比钨丝高很多。 扫描显微镜的重要特色之一是具有约为光学显微镜300倍的超宽景深( depth of field,因此扫描显微镜适合观察表面起伏比光学显微镜大的样品。
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