sem扫描会消耗什么，sem面扫描可以看啥

　　　　sem扫描会消耗什么，sem面扫描可以看啥

　　　　电子枪发射的高能电子束经两级电磁透镜聚焦后汇聚成几纳米大小的束斑，电子束在扫描线圈的作用下偏转，与样品表面同步扫描，激发样品表面的多种信号。 现代发展起来的低压扫描电镜和环境扫描电镜可以直接观察非导电样品、生物样品等，拓宽了扫描电镜的应用范围。 设备销售聚焦离子束显微镜( FIB )透射电子显微镜( TEM )扫描电子显微镜( SEM )双束显微镜( DB )耗材及配件维护。

　　　　场致发射电子枪分别比钨丝和六硼化镧丝的亮度高10 - 100倍，同时电子能量的色散为0.2 - 0.3 eV，因此目前市面上高分辨率的扫描电镜采用场致发射电子枪，其分辨率为1.1 阴极发光( Cathodoluminescence )电子束引起的电子-空穴对复合时，会发射各种波长的电磁波。 这是阴极发光( CL )，并根据材料而发射不同颜色的光。

　　　　线的积累对轻微带电有良好的抑制效果； 帧叠加可以有效抑制高速扫描中的噪声，但此方法需要避免图像漂移。 否则，会发生重影导致的图像模糊。 为了突破光学显微镜分辨率的ji极限，科学家利用波粒二像性原理(即电子在加速电压下运动，波长达到可见光波长的十万分之一)，将加速电子作为新型光源，采用高分辨率扫描电镜，以下简称扫描电镜。

　　　　电子探测器有两种。 一个是闪烁计数器检测器( Scintillator )，常用于检测低能量的二次电子。 另一个是固态探测器)固态探测器，用于探测高能量的反射电子。 方法6 )加快扫描速度)电子束在同一个区域停留时间长，容易引起电荷积累； 此时，可以加快电子束扫描速度，缩短在不同区域停留的时间，减少电荷。

　　　　面像差是物镜的主要缺陷，难以校正。 由于偏离透镜光轴的电子束偏转较大，其成像点比电子束沿光轴成像的高斯成像平面( Gauss image plane )更接近透镜。 电荷的产生对扫描电镜观察有很大的影响，只有消除或降低电荷效应，才能进行正常的扫描电镜观察。 扫描电镜分辨率非常高，普通扫描电镜分辨率只有几纳米，场发射扫描电镜分辨率达到1nm，非常接近透射电镜水平。

　　　　o.1引言扫描电镜简称扫描电镜，英文简称SEM。 电子束感应电流( Electron-beam induced Current，EBIC ) :如果电子束照射到一个p-n接合面( Junction )，则会产生过剩的电子-空穴对，在这些载流子扩散时p-n接合面