sem有哪些成像信号，SEM成像方式

　　　　sem有哪些成像信号，SEM成像方式

　　　　显像管的电子束在荧光屏上也呈光栅状扫描，其扫描运动与试料表面电子束的扫描动作严格同步，从而得到与接收信号强度相应对比度的扫描电子图像。 不同的物理信号使用不同类型的检测系统作为显微镜的调制信号。 由于x射线的深度和宽度都远大于背反射电子的发射范围，所以x射线图像的分辨率远远低于二次电子像和背反射电子像。

　　　　电子束照射到样本上的各点时产生的信号可以由信号探测器接收，并通过显示系统以强度绘制在阴极射线管的荧光屏上。 要理解此问题，必须了解SEM和光谱仪EDS的作用。 扫描电镜( Scanning ElectronMicroscope，简称SEM )是继透射电镜) TEM之后发展起来的电镜。

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　　　　当用阴极闪烁计数器线管CRT扫描一帧图像时，有0.2s、采样信号光信号0.5s等扫描速度、10cm10cm的屏电离、复合屏，一般有500条线，用于人眼观察用视频辐射电子倍增管放大器拍摄的800~1000条线。 由于入射电子的碰撞而从试样内放出的俄歇电子、二次电子的能量低，平均自由程短，因此只有表层下0.5~2nm厚度激发的俄歇电子、0.5~5nm厚度激发的二次电子有可能从表面放出。

　　　　SEM是聚光镜将入射的电子束聚焦成非常细的直径，入射到样品表面，激发各种物理信号，由探测器接收，传送到阴极射线管的荧光屏上成像，是间接成像。 一般来说，来源于样品表面以下的几纳米(3nm )，多用于样品表面的成分分析，原子至少含有三个以上的电子才能生成俄歇电子。 韧性断裂的宏观特征，有明显的宏观塑性变形； 微特征包括韧窝，这发生在微孔形成、聚焦、生长、断裂之前。

　　　　当使电子束入射并照射固体时，由于与样品中原子的相互作用，例如，如图12-1所示，二次电子、背散射电子、吸收电子(这三个信号可以用于成像)、特征性的x射线、阴电平的荧光)这两个信号用于成分的分析透射电子：电子透射样品的部分。 这些电子携带着被样品吸收、衍射的信息，用于透射电镜的亮场像和透射扫描电镜的扫描图像，揭示了样品内部微观结构的形态特征。

　　　　注意：这里所说的透射电子是指利用扫描透射操作方式对薄膜样品成像，进行微区成分分析时形成的透射电子。 层的表面还没有向横向扩展，俄歇电子和二次电子在与入射束斑直径相当的圆柱内被激发，束斑直径为图像检测单元(像点)的大小。 随着信号的有效作用深度增加，作用区域的范围增加，信号的空间范围也增加，不利于信号的空间分辨率。