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sem如何获得高质量像,sem成像
聚焦电子束与样品相互作用,产生二次电子发射(及其他物理信号),二次电子信号被探测器收集并转换为通信信号,经视频放大后输入显像管,得到反映样品表面形貌的二次电子像。 扫描电镜采用这样逐点成像的方法,将样品表面的不同特征按顺序按比例转化为视频信号,完成一帧图像,使荧光屏观察样品表面的各种特征图像。
电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室,电磁透镜只作为聚光透镜; 信号处理、图像显示、记录系统中二次电子和反射电子、投影电子可以使用闪烁计数器进行检测; 真空系统通常将机械泵和分子泵组合以获取所需的真空度。 其中,先用机械泵引出至一定真空度,再用分子泵引出至较高真空度。 高倍率观察表面平整的试样时,适当调整倾斜角可以获得良好的对比度。
定点分析- -获得样品中一个选择点的全谱分析,确定夹杂、次等选择点所含元素的种类和浓度(定量分析)。 付费小说结束后/如果拒绝的话,必须推荐新的内容; 如果用户完全看不到,或者愤然放弃了漏洞,我们会另找好的内容推荐。
热辐射的钨电子枪的亮度可由2/cJ eVkT A cm sr公式表示,Jc为电子枪的辐射电流密度; v是加速电压; k是玻尔兹曼常数; t是电子枪灯丝工作温度( k; e是电子的电荷。 在使用扫描电镜的过程中,为了获得良好的图像,需要注意以下操作要点。 1 .为每个样品选择合适的电子枪加速电压,可以减小电子束波长,增加亮度,有利于改善分辨率,提高信噪比。
它主要针对分散性好的纳米材料,例如10nm以下的样品,分散性极高,如果使用微电网,有可能通过微孔泄漏,如果位于微电网孔边缘,膜厚可能会影响观察。 一、扫描电镜工作原理二、扫描电镜结构三、扫描电镜成像(对比度)原理四、影响扫描电镜质量的主要因素五、操作要点六、打样。 因此,可以根据背散射电子像对比度判断对应区域原子序数,可以根据背散射电子像对比度判断对应区域原子序数的相对高低。
断裂照片2.2 )原子序数衬度原子序数衬度原子序数衬度也叫化学成分衬度,也叫原子序数衬度和化学成分衬度,是以对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号为调制信号对所得微区物理信号进行调制后得到的信号这表明,吸收电子像的对比度与背散射电子像和二次电子像互补。
此外,EDS还具有以下特点:x检测效率高,灵敏度高; 工作效率高,可以同时检测和计数所有元素的特征x射线光子能量,可在短时间内获得结果; 其内部无机械传动部分,稳定性和重复性好X射线无需聚焦,表面无特殊要求。
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