sem能看出元素比例吗，影响sem分辨率的因素

　　　　sem能看出元素比例吗，影响sem分辨率的因素

　　　　测试了两个样品，分别取了两个测试分。 其中，第一个样品a元素含量为9%和2%，第二个样品a元素含量为24%和22%。 如图50所示，当x射线进入半导体检测器时，会产生一定数量的相当于x射线能量的电子-空穴对，测定其数量(电流)即可知道x射线的能量。 为了降低检测器的电噪声，需要用液氮等进行冷却，可以从B~U的x射线同时测量是EDS的特征。

　　　　我不能确信的是，用eds判断24%和9%，可以说前者这个元素的含量更多吗？ 由于x射线具有元素特有的能量(波长)，所以可以通过检测x射线进行元素分析。 分析模式有消除电子束照射区域光谱的点分析、表示感兴趣元素如何分布在指定线上的线分析、表示感兴趣元素二维分布的面分析三种，面分析有时也称为面分布。

　　　　例如，如果用30kV的电压分析厚度100nm左右的样品，很多元素可以得到100nm以下的分析区域。 atm如果没有标准样品，误差为30%，另外，EDS测定C、n、o、s、p等轻元素本身误差较大。 那么，删除某一元素后，该元素对应的重量百分比是否应该添加到剩余的重元素中； 还是说，这个问题在归一化处理时，能削掉的主要是轻元素的比例？”

　　　　清华大学分析中心邢志老师表示，很多人都印象深刻。 对原子光谱、元素分析始终充满热情，不断探索新方法、新应用，探索仪器改进。 另外，热爱光谱仪器和元素分析的专家聚集在一起，继续讨论元素分析的无尽挖掘。 另外，以轻元素的检测为目的时，镀上重金属的厚膜有可能阻碍轻元素x射线的释放，因此镀膜最好尽可能薄。 定量分析因为特征性的x射线的强度与对应元素的浓度成比例，所以可以进行定量分析。

　　　　点分析对样本上的一点(参照分析区域)进行定性分析。 分析一定范围的区域(不是一点)时，定性分析在电子探针扫描该区域(观察图像)的同时进行。 检出限)因元素而异，但EDS一般为数千ppm。 求助】用HPLC分离的对象物的脱溶剂温度是否高于直接质谱分析的脱溶剂温度？

　　　　非正规化结果的范围在95~105的范围内时，可以对定量结果进行正规化。 否则，归一化的结果只能显示元素的相对含量，而不能显示绝对含量。 通过比较已知浓度的标准试样的x射线强度和未知试样的x射线强度，可以知道未知试样的元素浓度。

　　　　但是，试样产生的x射线在进入真空之前可能会被试样吸收或激发，因此需要定量校正。 现在使用的EDS和WDS可以简单地进行校正计算，但进行校正的前提是x射线产生区域中的元素分布相同、试样表面平坦、电子探针垂直入射等。