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sem像wD是什么,sem图像中WD是什么意思
放样品的时候先放。 首先把样品放在很低的位置。 打开电子显微镜后调用图像可以看到wd值。 wd值可以自由调节。 大于1是安全的。 一般电镜必须有限位,不允许小到wd。 电子束感应电流( Electron-beam induced Current,EBIC :如果电子束照射到一个p-n接合面( Junction,则会产生过剩的电子-空穴对,在这些载流子扩散时p-n接合面
电子束和样品的作用体积( interaction volume、作用体积有约数微米( m的深度,其深度过宽呈梨状。 如果是这样的话,我明白以前为什么他们说要在测试时把样品的高度定为20。 工作距离长、分辨率差,但图像景深长、表面起伏大的样品可以获得更均匀清晰的图像。
电子枪的必要特性是亮度高,电子能量的色散( Energy Spread小。 目前常用的种类有三种:钨( w丝、六硼化镧( LaB6)丝、场发射),一般二次电子像因丝不同而在大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等方面存在差异
由于通过色散( Chromatic aberration透镜的电子束的能量差,电子束会聚而不存在于同一点。 背散射电子( Backscattered Electrons入射电子与试料发生弹性碰撞,从试料表面逃逸的高能电子,其动能与入射电子的能量相同或稍小。
扫描显微镜的重要特色之一是具有约为光学显微镜300倍的超宽景深( depth of field,因此扫描显微镜适合观察表面起伏比光学显微镜大的样品。 导电性差,试料通过吸收电子而带负电、放电,排斥之后入射的电子,被检测器吸收,或与试料室的其他部件5碰撞。 与加速电压高分辨率高电压相比,自然低电压6,像散是由SEM的磁场轴方向非对称性引起的像差。
对于成分分析来说,它是指可以分析的最小区域; 在图像中,那意味着要分辨两点之间的最小距离。 z似乎是透镜到样品台的距离,WD工作距离似乎是透镜到样品最高位置的距离。 由于电子束与样品作用体积( interaction volume的关系,特征x射线的产生与作用体积的大小有关,因此对于平面样品,EDS或WDS的空间分辨率受作用体积的大小限制。
样品电流( Specimen Current电子束照射样品时,一部分产生二次电子和背散射电子,另一部分留在样品中,样品接地后产生样品电流。
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