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SEM用什么信号分析样品,SEM测试一个样品多久
包括真空泵和真空柱两部分。 真空泵用于在真空柱内产生真空。 成像系统和电子束系统集成在真空柱中,真空柱下端、密封腔,用于放置样品。 xrd可通过x射线衍射分析物相,SEM为扫描电镜,主要观察显微镜组织,TEM为透射电镜,主要观察超微结构。 样品室样品室中的样品台除了可以夹持一定尺寸的样品外,还可以对样品进行平移、倾斜和旋转等,同时还可以在样品台上进行加热、冷却和力学性能实验。
扫描电镜是1965年发明的一种较现代的细胞生物学研究工具,主要利用二次电子信号成像观察样品的表面形貌。 也就是说,用极窄的电子束扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生了各种各样的效果,其中主要是样品的二次电子发射。 解决方案:降低加速电压,使用BSE探测器或低真空[A10]。
二次电子探测器由四个部分组成。 收集极是为了吸收二次电子,加速接近探针。 闪烁技术是常用的检测系统; 光导将可见光信号输出至光电倍增管并转换为图像扫描信号; 电子放大器中的视频放大器可以进一步放大电信号。 显像管有两个,一个用于观察,是分辨率低、长余辉的管子;另一个用于照片记录,是分辨率高、短余辉的管子。
制样简单、倍率调整范围广、图像分辨率高、景深大、保真度高、具有真实的三维效果等[1],导电材料可以直接放入样品室进行分析,导电性能差或绝缘的样品需要喷涂导电层有三种泵:机械泵、扩油泵和涡轮分子泵,机械泵、供油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求,而对于安装有电场发射枪或六硼化镧枪的SEM,机械泵和涡轮分子泵
二次电子能量小,样品中几乎所有的二次电子都被再吸收,因此很难从样品中逃逸,只有浅表层原子的二次电子才能逃逸。 需要进一步观察表面形貌时,需要使用扫描探针显微镜SPM(AFM、STM )。 目前扫描电镜最主要的组合分析功能是x射线显微分析系统(即能谱仪、EDS ),主要用于元素的定性定量分析,能够分析样品微区的化学成分等信息; 电子背散射系统,即结晶学分析系统,主要用于晶体和矿物的研究。
作用体积电子束不仅与样品表层的原子作用,而且实际上与一定厚度范围内的样品原子作用,因此存在作用体积。 目前,扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害防治、灾害(火灾、失效分析)、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定和生产技术控制等
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