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sem扫描的区域有多大,sem 扫描
二次电子产生量与入射电子束和试料表面法线所成的角有关,倾斜角越大,越大。 但是,随着放大倍率的增加,在需要拍摄高分辨率的图像的情况下,用户需要减小束点直径以得到良好的图像,另外,如果增大束点直径,则电子束电流变大,试样的损伤增加,这种现象对电子束特别敏感,因此需要拍摄试样高分辨率成像需要将试样厚度控制在20 nm以下,一般直接捞取直径小于20 nm的粉体,粒子更大z包埋后离子变薄较好。
因此,为了准确地进行实验,需要了解不同的参数如何影响电子束的特性,并比较研究它们之间的利弊。 林恩的中场战争后,开始进入豆瓣的电影世界。 对于新用户来说,我特别喜欢豆瓣电影的电影评论。 关于看了让人印象深刻的电影,我用豆瓣做了调查。 即使是同一部电影,也想看到与自己感受到的不同的视点。 为什么这么说呢,因为每个观众都有不同的人生轨迹。 看事物的角度可能不一样。 因为那个差异会唤起思考。
SEM作为一种通用工具,方便用户对各种材料进行多种多样的分析。 另外,束斑直径——越大,电子束电流——越大,试样的损伤增加。 这一现象应该在对电子束敏感的试料进行成像时加以考虑。 观察下图1,为了在样品表面流通小的束斑直径和足够的电流,用户只要增大电子束的聚焦角即可。
直接观察大试样的原始表面:可以直接观察直径100mm、高度50mm或更大的试样,试样形状没有限制,也可以观察粗糙面,省去制作试样的麻烦,实际上可以观察到试样本身物质成分的不同对比度(背散射电子像) 一般分辨率可达0,1ev-1ev,主要用于获得元素含量,特别是轻元素含量。
用扫描电镜观察试样氧化层的厚度,如果是玻璃或陶瓷等可以直接劈开观察截面的金属材料,切割时样品的结构可能会发生变化,我们来看看是什么材料的氧化层。 能谱的分辨率在EDS中约为100200eV,在WDS中为510eV。 因为所有光束的强度是一定的,所以放大倍率大的话,通过透镜的电子束就会变少,相反电子束会变大。
分辨率影响SEM图像分辨率的主要因素有:扫描电子束光斑直径; 入射电子束在样品中的扩展效应; 操作方式及其使用的调制信号信噪比杂散磁场; 机械振动会引起光斑漂流等,降低分辨率。 用扫描电镜从高倍率到低倍率连续观察,倍率可变范围广,不需要经常对焦。
电子束和样品的作用有两种,一种是弹性碰撞,几乎没有能量损失。 另一种是非弹性碰撞,当电子束入射时,一部分能量传递给样品,产生二次电子、背散射电子、俄歇电子、x光、长波电磁辐射、电子-空穴对等。
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