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SEM成像原理是什么,sem原理介绍
本书为【SEM原理和测试PPT努力课件】,请使用软件OFFICE或WPS软件打开。 SEM样品制备的大致步骤:1.根据大样品确定采样部位; 2 .根据需要,决定通过切断还是自由断裂得到表面界面; 3 .清洗; 4 .包埋打磨、蚀刻、喷金处理。 透射电镜可以观察到样品的内部结构,但一般只能观察到切薄的二维图像。 许多电子不能穿透的厚样品只能用扫描电镜观察到。
SEM扫描电镜下的X射线背散射电子是指被固体样品原子反射的入射电子的一部分,其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 L电磁透镜的作用是逐渐聚焦缩小电子枪的束斑,将原来直径约50um的束斑缩小为数nm的小束斑。 通过测量图像中两个粒子(或区域)之间的最小距离来确定SEM分辨率。
但背散射电子像的分辨率低于二次电子像; 背散射电子能量较高,只能检测出离开样品表面沿直线轨迹运动、射向探测器的背散射电子,背对探测器区域产生的背散射电子无法到达探测器,结果在图像上产生阴影,掩盖了这些部分的细节。 解理断裂是指由于正应力,原子键被破坏而引起的晶体断裂。 由于背散射电子在较大的作用体积内被入射电子激励,因此摄像单元变大是分辨率降低的原因。
a成分有差异,形态没有差异( b形态有差异,成分没有差异) c成分形态有差异。 在电脑软件中,重构每个角度的图像,恢复为可以由电脑分析的3D图像。 最广为人知的CT是应用于临床检查的医学CT,首先第一张CT影像显示头颅影像。 由于横向扩展的作用体积大小是背散射电子的成像单元,背反射电子的成像分辨率远低于二次电子像。
Micro-CT成像原理是利用微焦x射线球管扫描投影小动物各部位层面,探测器接收透过该层面的x射线,转换为可见光后,通过光电转换器转换为电信号,再通过模数转换器转换为数字信号,由计算机最常见的是CMA,CMA是国家对检测机构检测能力和可靠性进行的认证,具有法律效力。 如果SEM有x射线能谱仪分析附件,可以进一步分析组成相及其成分,以明确断裂的原因。
双相钢图12-20是铁素体f马氏体m双相钢拉伸断裂过程的动态原始观察图像。 它们分别由相应的收集器接收,经放大器依次按比例放大后,输送到阴极射线管网格,用于同步调制阴极射线管的电子束强度,即阴极射线管荧光屏上的亮度。
认为背散射电子信号强度、二次电子信号强度和吸收电子信号强度分别与、成正比,但二次电子信号强度与样品原子序数没有确定的关系,因此样品微区背散射电子信号强度大,吸收电子信号强度小,反之大。
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