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因此,为了区分这些信号并获得必要的信息,需要二次电子检测器、x射线分光分析器等不同的检测器。 电子束感应电流( Electron-beam induced Current,EBIC :如果电子束照射到一个p-n接合面( Junction,则会产生过剩的电子-空穴对,在这些载流子扩散时p-n接合面
电子探测器有两种。 一个是闪烁计数器检测器( Scintillator,常用于检测低能量的二次电子。 另一个是固态探测器)固态探测器,用于探测高能量的反射电子。 变压力模式下利用Sigma创新的C2D和变压力探测器,在低真空环境下获取85%的对比度尖锐图像,在高真空模式下利用创新的ETSE和In-lens探测器获取表面形貌信息和超高分辨率表面信息。
蔡司的扫描电镜Sigma 300利用Everhart-Thornley二次电子和In-lens二次电子二次探测器获取形貌和成分信息,配置新一代二次电子探测器获取50%的信号图像。 头孢菌素FEI Apreo 2场发射扫描电镜sem扫描电镜元素分析。
面像差是物镜的主要缺陷,难以校正。 由于偏离透镜光轴的电子束偏转较大,其成像点比电子束沿光轴成像的高斯成像平面( Gauss image plane更接近透镜。 阴极发光( Cathodoluminescence电子束引起的电子-空穴对复合时,会发射各种波长的电磁波。 这是阴极发光( CL,并根据材料而发射不同颜色的光。
散光一般采用散光补偿器( stigmator进行与散光大小相同、方向相反的像差校正,目前电镜聚光镜和物镜分别有一组散光补偿器。 电子枪的必要特性是亮度高,电子能量的色散( Energy Spread小。 目前常用的种类有三种:钨丝( w、六硼化镧( LaB6)丝、场发射),不同丝的电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等都有差异
由于电子束与样品作用体积( interaction volume的关系,特征x射线的产生与作用体积的大小有关,因此对于平面样品,EDS或WDS的空间分辨率受作用体积的大小限制。 产品快速导航:电镀测厚仪合金分析仪扫描电镜RoHS检测仪液体气体检测仪。 对于块状导电材料,除了大小适合仪器样品支架尺寸外,基本上不需要任何制备,样品可以用导电胶粘在样品支架上,用扫描电镜进行观察。
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