SEM样品可以用于EDS测试吗，EDS样品要求

　　　　SEM样品可以用于EDS测试吗，EDS样品要求

　　　　EDS点分析是将电子束固定在样品中的某一点，进行定性或定量分析。 SEM )扫描电镜，又名SEM、扫描电镜是在真空下用电子束扫描样品表面，逐点激发二次电子信号，根据信号强度构成形貌照片，进行高倍率表面外观形貌观察的仪器。 极限，倍率1000~10万倍，金属样品可以更高，但非金属等不导电的样品可能只能达到5万倍。

　　　　这样，EDS应该是文章中的正规用法，但现在很多文章还是用了其他的说法，很有约定的味道。 我要是知道是怎么回事就好了。 能谱EDS采样深度约为1 m，可以分析样品微区内Be~U范围内的元素。 未标准化的定量分析方法目前还没有国家标准，但在非均相试样、粉体试样及要求较低的一般分析研究中，应用广泛，目前正在考虑制定非EDS标准化的定量分析方法的国家标准。

　　　　b ) Al或Si:SEM使用的是Al样品台或玻璃底座，因此在样品的较薄区域扫描光谱时，会发出基础信号。 上海硅酸盐研究所李香庭教授对SEM和电子探针的EDS分析结果进行了比较系统的描述，我摘录如下。

　　　　图1显示的是绘制能谱的峰值模式。 各元素均出现峰值，可见样品中所含元素。 另外，表1所示元素相对含量量表也对应地示出。 表中的数据表示相对质量分数、相对原子分数和误差，误差越大，元素相对含量的可靠性越低。 不能制作液体、悬浮粉末、微绒毛类的样品。 切片封装树脂必须完全固化才能完成。 请勿因漏气、夜漏、脏污等而污染真空室。

　　　　TEM的样本大多是薄样本。 这对分析来说似乎是件好事。 因为它可以减少干扰，但在定量时需要考虑样本的厚度，反而是一个难题。 由于微区上样品的厚度难以准确估算，给定量带来了很大的难题。 另外，因为即使有样品，也无法制作相应厚度的样品进行比较，所以据我所知，还没有一个国家级的TEM样品。

　　　　出现这一问题的原因是： A ) C和O，常见空气中存在油脂等有机物，易吸附污染样品表面，无论是TEM还是SEM都有可能出现C和o峰。 与扫描电镜或透射电镜联用，选定微位置区域，检测元素成分和含量。 2、是故障分析中微量金属物质检测的重要检测手段。

　　　　EDS是某些电子壶层的电子受外来粒子或能量激发，留下一个空位，随后外层电子迁移进入该空位，同时发射出特征x射线，导致不同壶层间电子迁移引起的能量差存在不同的谱线，EDS谱线就是