sem如何自动消象散对焦

　　　　sem如何自动消象散对焦

　　　　物镜是电镜最重要的部分，它首先获得了具有一定分辨率的电子放大像，物镜中的任何缺陷都被成像系统的其他透镜进一步放大。 电镜真空系统一般包括真空泵(机械泵和扩散泵)、真空指示器、真空管道和自动阀系统； 及冷阱、预吸室、真空干燥器； 用于开闭气阀的空气压缩机等。 还必须考虑显微镜使用内置软件自动控制的能力，而不是手动控制变焦等功能。 这通常需要专家。

　　　　对比度：如果图像的对比度较大，图像会呈现立体感，但如果对比度过大，则会失去微结构。 较小的图像对比度会丰富和柔和图像的层次，但太小会导致细节丢失。 导电样品遇到电子时会发生放电现象，降低对比度，因此可以自动和手动调整每个样品的对比度。 由于电子束对样品的相互作用和检测器对该作用的响应较慢，即在0.01us期间内在各点获得的信号较弱，需要放大才能看到，因此噪声变多，s/n比下降。

　　　　另外，对于一定质量的透镜，球面像差系数也与工作距离WD有关，WD越小，对应的Cs (透镜的球面像差系数)也越小。 物镜挡板除了提高像的对比度外，还被用作控制物镜开口角的柞木。 通常，样品被放置在物镜的前焦面附近，但被放置在物镜的后焦面附近。 在焦距变化不大的情况下，物镜的开口角与物镜的开口角( r )相对于焦距( f )之比，即oR/f o ) o近似。

　　　　物镜的下表面装有一对物镜散逸器，用于将物镜的像散抑制在最小限度，获得高分辨率。 分为x像散和y像散，产生x像散时的过焦点和不足焦点的图像延伸为0度和90度，y像散时延伸为45度和135度。 这句话其实大错特错，像散并不是你说的焦场聚焦能力不均匀引起的，所有方向的聚焦能力一致的情况下也会产生像散。 肖恩的焦点不足、焦点过剩的相关图解说明了这个概念问题。

　　　　像散器其实是四极透镜，作用是向会聚能力弱的方向补偿会聚场，减弱强的方向，再次满足会聚场圆对称的条件。 强调了像散是影响图像清晰度的重要因素，介绍了消除像散是扫描电镜( SEM )工作中一个重要而难以掌握的环节——像散的产生、像散仪的工作原理及消像散过程。 像散的产生：静电场的作用使电子束难以聚集，像散的方向发生变化，无法消除。

　　　　我用的是JEOL6390LV，换spot size的时候必须调节gun alignment。 是因为更换光点后对焦时图像会移动吗？ 在实际操作中，在像亮度合适的条件下，第二聚光镜尽量散焦，获得尽可能小的孔径角(孔径角变大，球面像差变大)。