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什么是扫描电镜sem,什么是扫描电镜的景深
试样本身性质:表面凹凸、成分差异、电压差异、表面电荷分布信号本身性质:二次电子、背散射电子、吸收电子对信号的人工处理。 对于塑料、矿物等非导电性样品,电子束引起电荷堆积,影响入射的电子束斑点和样品发射的二次电子的运动轨迹,使画质下降。 真空系统的作用是保证电子光学系统的正常工作,为防止样品污染提供高真空度,一般要求保持10-4-10-5 mmHg的真空度。
第三种聚光透镜是一种弱透镜,具有较长的焦距,在样品室和透镜之间留出尽可能大的空间,具有放入各种信号探测器的功能。 二次电子像分辨率为1.0nm (场发射)、3.0nm ) )钨丝); 因为这是由试料表面层产生的,入射电子还没有被大量散射,所以产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没有太大变化。 为了得到高信号强度和图像分辨率,需要提高扫描电子束的亮度,尽量减小束斑直径。
其作用是为了得到扫描电子束作为使试料产生各种物理信号的激发源。 能量较高的入射电子入射到试料时,会产生很多自由电子,但在试料表面上方检测到的二次电子大部分来自价电子。
相对于二次电子、背散射电子等信号的强度是试样表面倾斜角的函数而言,试样表面的微小区域的形态差实际上各微小区域的表面相对于入射电子束的倾斜角不同,因此电子束在试样上扫描时的任意两点的形态差都表现为信号强度的差,是图像因此,在样品下检测出的透射电子信号中,除了相当于入射电子的能量的弹性散射电子外,还有各种能量损失的非弹性散射电子。
扫描电镜( SEM )是介于透射电镜和光学显微镜之间的微观形貌观察手段,可以直接利用样品表面材料的物理性能进行微观成像。 背散射电子的产生范围是1000吗? 到1为止? 由于m深、背散射电子的产生额随原子序数的增加而增加,利用背散射电子作为图像信号不仅可以分析形貌特征,而且可以显示原子序数对比度,定性地进行成分分析。
扫描电镜SEM :可见,在显示屏上显示样品图像之前(图4 ),电子需要经历不同的过程。 比一般光学显微镜的景深大100-500倍,比透射电子显微镜的景深大。 I区前面是一楼0.1吗? m的p型半导体( Si失效层),在其之外镀有20 nm的金膜。 SEM的倍率随扫描线圈电流的调节而变化,电流小,电子束偏转小,在试料上移动的距离小,倍率大。
探测器收集信号电子,经过放大、转换,在显示系统上形成图像(扫描电子像)。
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