sem扫描电镜的作用有哪些特点，sem电镜扫描仪

　　　　sem扫描电镜的作用有哪些特点，sem电镜扫描仪

　　　　扫描电镜除了能观察表面形貌外，还能进行成分和元素分析，以及电子通道形貌结晶学分析，选区尺寸可从10m到3m。 电子枪发射的高能电子束经两级电磁透镜聚焦后汇聚成几纳米大小的束斑，电子束在扫描线圈的作用下偏转，与样品表面同步扫描，激发样品表面的多种信号。 大视场、低倍数观察样本形态在刑事侦察和考古等部分领域十分必要。

　　　　B .入射电子束在样品中的扩展效应：扩展程度取决于入射电子能量和样品原子序数的高低。 sem扫描电镜分析室满足了元素( EDX，WDS )和晶体学( EBSD )样品数据增长的需要，该分析室支持多个EDX探测器以提高通量和消除阴影效应。 其他方式的显微镜的工作距离通常只有2~3cm，因此实际上只允许试样在2度的空间内工作。

　　　　扫描电镜的工作原理及应用[J] .山东化工.中国知网. 2018-05-08 [引用日2020-04-21] . 高能离子轰击靶原子，原子以0-100ev的能量发射，这些原子堆积在样品和靶视线所在范围内的所有表面。 对于有导电性的样品，只要大小合适就可以直接观察，而对于无导电性的样品，需要在样品表面喷涂导电膜(通常为金、铂或碳)进行观察。

　　　　直接观察大试样的原始表面，可以直接观察直径100mm、高度50mm或更大的试样，试样的形状没有限制，也可以观察粗糙的表面，所以没有制作试样的麻烦，可以得到试样自身物质成分不同的对比度(回归反射电子图像)

　　　　在以电子、x射线、阴极荧光、束感应电导和电位等作为调制信号的其他操作方式中，由于信号来源于电子束的整个散射区域，因此得到的扫描像的分辨率较低，一般在l000 nm以上。 另外，扫描电镜与其他分析仪器相结合，可以在观察微观形貌的同时进行物质微区的成分分析。

　　　　c .成像方式及使用的调制信号：二次电子作为调制信号时，能量较低(小于50 eV )，平均自由程较短( 10 ) 100nm左右)，只有表层50 ) 100nm深度范围内的二次电子才能逸出样品表面，散射次数有限

　　　　扫描电镜sem是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，目前扫描电镜广泛用于生命科学物理学、化学司法、地球科学材料学及工业生产等领域的微观研究，是一种多功能仪器，具有许多优越的性能，用途zui是一种广泛的仪器。