SEM为什么扫描速度最快，sem面扫描可以看啥

　　　　SEM为什么扫描速度最快，sem面扫描可以看啥

　　　　对于导电性和热稳定性差的样品，不适合在高加速电压、大束点、慢扫描速度下观察。 具体指标为： x方向位移：0-80mm Y方向位移：0-40mm Z方向位移：5-35mm倾斜角： 15o- 90o旋转角： 360o最大样品尺寸：150mm12mm扫描型电子显微镜样品平台量专用样品平台

　　　　重元素( ca-u(20-30kv工作距离) WD表示从样品表面到极片的距离，与S-530型SEM组合使用的INCA谱仪的工作距离WD=28mm，仅在该距离x射线出射角a=目前最常用的是si(Li X射线光谱仪，其关键部件是si(Li探测器，即锂漂移硅固态探测器，实际上是以Li为施主杂质的n-i-p型二极管。

　　　　EVO系列将高性能的扫描电镜与直观易用的用户界面体验相结合，能够吸引经验丰富的用户和新用户。 扫描范围缩小，图像表面粗糙度数值变小； 扫描速度与平均粗糙度呈开口向下的抛物线关系； 好的图像不一定要得出利用大像素参数进行图像扫描得到等结论。 扫描电镜常用参数加速电压、束斑、工作距离、扫描速度工作距离是样品表面到极片的距离。

　　　　样品厚度的影响：样品尺寸应大于x射线的扩展范围(薄样品：厚度尺寸小于电子和x射线的透射范围，由相同成分的体样品产生的x射线强度较低，但空间分辨率更好)。 a(-d照片是银膏膜的扫描尺寸分别为55微米X55微米、15微米X15微米、1. 6微米X1. 6微米、0. 55微米X0.55微米时的表面形貌图

　　　　光栅(扫描)的高能电子束扫描表面时，与样品中的原子相互作用，在可见光区域( CL产生背散射电子、二次电子、俄歇电子，有时还有光子。 计数率的选择：计数率是探头后面前置放大器每秒输出的信号脉冲数，单位为CPS，取决于激励试样所用电子束的大小，通过调整普通束流可以保持在1000-3000CPS的范围内a形态像及扫描线位置( b o及Ba元素在扫描线位置分布。

　　　　x射线进入探针后，Si的k层电子被激发，SiK射线从探针逸出时，部分能量被夺走，记录的脉冲相当于E-Esi的光子产生的脉冲。 元素的线分析和面分布INCA谱仪可以对样品平面进行线扫描分析和面扫描分析，从而测定样品中某些元素沿给定直线或被分析区域内的分布情况，它定性研究扩散层的成分梯度、样品中元素的分布等