EDS能当作SEM吗，sem的eds

　　　　EDS能当作SEM吗，sem的eds

　　　　未标准化的定量分析方法目前还没有国家标准，但在非均相试样、粉体试样及要求较低的一般分析研究中，应用广泛，目前正在考虑制定非EDS标准化的定量分析方法的国家标准。 EDS线扫描分析可以得到电子束沿一条线扫描样品，元素含量变化的线分布曲线。 功率谱具有操作简单、分析速度快、结果直观等特点，最重要的是与其价格较高的电镜相比价格低廉，因此功率谱也成为目前电镜的标配。

　　　　这样，EDS应该是文章中的正规用法，但现在很多文章还是用了其他的说法，很有约定的味道。 我要是知道是怎么回事就好了。 EDS分析的最低含量为0.x% (注：该x随元素而变化。 即使是同一制造商的能谱，在同一时期的产品中，用于TEM的分辨率通常也比SEM的几eV低。 确实，TEM也许可以观察到更细微的地方，但这是能谱分析范围的正确性，能谱的分辨率并不高。

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　　　　EDS点分析是将电子束固定在样品中的某一点，进行定性或定量分析。 SEM的样品制作比较简单，与厚度无关，一般电子束深度只有几微米，定量时放入该样品的标准样品(如纯Si可以选择纯Si，MgO可以选择MgO，许多国家级标准样品)进行校正半量EDS的氧测定是否准确，轻元素的测定光谱分析是否准确。

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　　　　电子探针和扫描电子显微镜的x射线光谱定量分析被定为国家标准，规定了EDS定量分析的允许误差(含有超轻元素的试料除外)。 能谱EDS采样深度约1m，可分析样品微区内Be~U范围内的元素。

　　　　TEM的样本大多是薄样本。 这对分析来说似乎是件好事。 因为它可以减少干扰，但在定量时需要考虑样本的厚度，反而是一个难题。 由于微区上样品的厚度难以准确估算，给定量带来了很大的难题。 另外，因为即使有样品，也无法制作相应厚度的样品进行比较，所以据我所知，还没有一个国家级的TEM样品。 EDS的光谱峰中有很多与一种元素对应的峰，这不就说明这种元素的含量很高吗？

　　　　如果要在同一样品的不同区域或同一样品的同一区域进行不同的EDS测试，请先单击【新区域】，然后单击【开始】发送图片。 EDS的分辨率远远低于波长色散谱仪，具有分析速度快的优点，比通用的x射线波长色谱提高了10倍，只要进行物质相位鉴定，几分钟就可以得到被测物质的总衍射图谱。 但到了2004年左右，相关协会规定，EDS为能谱或能谱仪，EDX为能谱，Dispersive不翻译。

　　　　您现在可以看到，对于大多数样品，TEM的EDS分析是半定量的，对轻元素只能进行定性。 大家能做的就是找出干扰尽量少的区域，取多点分析的平均值，选择合适合理的分析工具，尽量减少误差。