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背反射电子产生量和二次电子产生量与原子顺序束的关系背反射电子束的成像分辨率一般(相当于电子束斑点直径)。 原子核与外层价电子的结合能很小,原子的核外电子从入射电子中获得相应结合能以上的能量后,可以脱离原子成为自由电子。
该台式扫描电子显微镜( Scanning Electron Microscope,SEM )具有传统显微镜20倍的分辨率,能够提供高分辨率的图像,非常适合科学家,工程师能够获取高质量的亚微米分辨率图像。 扫描电镜由电子光学系统、信号采集处理、图像显示与记录系统、真空系统三个基本部分组成。
一般有三个聚光透镜,前两个是铁磁透镜,可以缩小电子束; 第三透镜是弱磁透镜,具有长焦距,在样品与透镜之间留有一定的空间,放入各种信号接收器。 目前的扫描电镜配备有辐射光谱仪,可以同时观察显微组织外观和分析显微区域成分,是目前非常有用的科研仪器,如透射电镜。
取样电机的移动范围(以上) 130mm(x方向)、130mm(x方向)、50mm(Z ) z方向)、3 - 70)、360旋转)。 当该散射过程发生在比较靠近样品表层的地方时,能量大于材料逃逸功的自由电子从样品表面逃逸,成为真空中的自由电子,即二次电子。 扫描电镜的各电磁透镜起着使电子束逐步变小的聚光作用,而不是用于相位透镜。
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扫描电镜结构和切面观察一、一、实验目的:实验目的:了解扫描电镜的基本结构,与原理一致; 掌握电子束和固体样品作用时产生的信号和各种信号在测试分析中的作用; 了解扫描电镜的基本操作步骤掌握扫描电镜样品的制备技术; 掌握韧性断裂、脆性断裂的典型断口形态。 弹性反射电子是指被样品中的原子反弹,散射角大于度的入射电子,其能量几乎没有变化。
该台式扫描电镜使用非常方便,用户经过培训10分钟即可独立操作,非常适合材料科学、微电子等领域获取高分辨率图像。 场发射扫描电镜( SEM )、能谱( EDS )设备简介)光信息大厦A312室)有四个检测平台:独立的镜筒内环二次电子探测器、样品室内二次电子探测器、伸缩式五象限高灵敏度背散射电子探测器、样品室内红外CCD相机
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