sem怎么看元素分析，sem测试主要测什么元素

　　　　sem怎么看元素分析，sem测试主要测什么元素

　　　　非导电性样品的分析与一般的SEM观察一样，分析非导电性样品需要镀金属，需要注意的是与SEM观察不同，不能镀上样品中可能含有的相同元素的金属。 由于谱仪分辨率高(表8-2 )，光谱的峰背比至少是能谱的10倍，因此对于某些元素，光谱中可以出现更多的谱线。

　　　　无电镀直接分析非导电性试料时，由于电荷效应，在低加速电压下进行分析时，会出现无法进行激发能量高的特征性x射线检测，定量分析精度降低等现象。 如后所述，x线面分析的分辨率取决于分析区域，如果试料表面附近局部存在特定的元素，即使粒子比分析区域小也能够识别。 点扫描和线扫描都是对样品所在位置进行微观区域元素分析，两者的区别在于扫描能谱面积大小不同。

　　　　波谱仪的角有一定的变动范围，例如15-65； 由于各晶体的衍射晶面是固定的，因此仅适用于波长范围的x射线和一定原子序数范围的元素分析。 背散射电子像主要反映样品表面元素的分布，区域越亮原子序数越高。 由此可见，光谱定性分析不如光谱定性分析简单直观，要求对光谱进行更逻辑的分析，避免出现错误。

　　　　x射线能谱定性分析与定量分析相比，较为简单直观，但需要遵循一定的分析方法，使分析结果准确可靠。 比尔：基本上是这样。 另外，如果你感兴趣的是o这样轻的元素，我建议你用透射电镜做EELS。 EDS分析不允许这些轻元素。 EDS分析的最低含量为0.x% (注：该x随元素而变化。 需要注意的是，在SEM图像中尝试分析数nm ~数十nm的粒子时，实际的分析区域会变得相当大。

　　　　不同成分的两种材料紧密接触加热形成扩散对，扩散可以沿扩散方向每隔几米测量一次试样中的成分梯度，也可以对照扩散方程的结果进一步测量扩散系数。 但是，该组分的不均一是宏观范围内的不均一，接触的两相界面两侧微观范围内( 1m级)组分仍然均匀，达到平衡态。

　　　　产生这种误差的原因是，光谱强度除了元素含量外，还与样品的化学成分有关，一般称为矩阵效应，谱仪对不同波长(或能量)根据x射线检测的效率而不同。 低真空SEM(lowvacuumSEM，简称LV SEM )可以分析未镀敷的非导电性样品，但在LV SEM样品室中，由于在电子束的通路中存在残留气体分子，入射电子束散射，分析区域变大

　　　　虽然该光谱仪结构简单，但x射线的出射方向随分光晶体的旋转而发生较大变化，当试样表面凹凸较大时，由于x射线在试样内行进的路径不同，往往会导致分析上的误差。