sem机台指什么，sem机器

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　　　　与多晶硅的合金使用钨、钛、钴、镍等熔点较高的金属材料。 一个字段可以包含多个Die； 203 .为什么曝光机的绰号是点钞机？ 答： Tetra-ethoxy-silane四乙氧基硅烷、正硅酸四乙酯，用途为二氧化硅沉积。

　　　　由碎片相关公式( De Broglie Relation可以看出，电子在高压下加速时，其波长与加速电压有以下关系。 a首先，检查是否是机台漏水或PM引起的，如果是机台系统，通知工厂中央控制室( 12222 236。 机台发生PM或其他异常时，首先如何大量排出废溶剂和废酸等应该如何通报用于控制反应气体的流量。

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　　　　此后，SEM发展相当快，不仅机械设备性能大幅提高，各种材料的分析附件也日益增多，应用范围不断扩大，几乎包括各研究领域，目前包括材料、机械、电机、电子材料、冶金、地质、矿物、生物医学、化学a曝光机，曝光动作为Step by step形式，一次曝光整个exposure field，一次曝光一个。

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　　　　A EI蚀刻后检测1 .定义： A EI或After Etching Inspection在蚀刻工艺去除抗蚀剂之前及去除抗蚀剂之后，分别对产品进行全检测或抽样检测。 电磁振动试验台按它们的工作原理可分为电动台、机械台、液压台三种。 非各向同性蚀刻； 侧壁被蚀刻的概率很小。 答：机台的红灯亮的时候，表示机台处于异常状态。 此时不能退货。 因此，应该立即用Call EE处理。

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　　　　a1)正面颜色有无异常和划痕)2)有无缺角，以及Particle (3)3)印记是否正确) 55将金属刻蚀机台转至非金属刻蚀机台时应如何处理？ 在所有栅极、源极和漏极上镀金属硅化物的过程称为自对准金属硅化物( Self-Aligned Silicide，通常简称为salicide工艺。 波前相位差只有最好的照相机的5%。 有精密的定位系统(使用激光台) 199。 激光台的定位精度是多少？

　　　　Seasoning (老化处理)在蚀刻室净化或部件更换后，为了稳定工序条件，使用虚拟晶片进行数次蚀刻循环。 a(reticle也称为Mask，翻译为光掩模模板、掩模和曝光过程中原始图案的载体，在曝光过程中将这些图案的信息传递给芯片。