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正JEM-2100高分辨率透射电镜具有很高的分辨率,最大倍率为150万倍,是研究材料微观结构的重要工具。 *在该实例中,透镜是正的,这意味着电子束如图2a所示的会聚,而在第二种情况下,透镜是负的,这意味着电子束如图2b所示的发散。 电镜内部发热元器件较多,如扩散泵电炉、电磁透镜、大功率半导体器件等。 总之,这是正极透镜,电子束聚焦在第二板下面的平面上。
电镜透镜可以是静电的或磁的,取决于是静电场还是磁场聚焦电子束。 STEM的使用还不够,这种观察方式目前只在分析型电子显微镜中使用。 分析电镜既不是单个TEM,也不是单个SEM,而是一种能够综合各种电镜性能,综合分析处理多种电子信号的电镜。
顶部的电子枪发射光源(电子束),底部配置合适的电磁透镜,根据电子显微镜的类型和工作方式配置不同性能的电磁透镜进行适当匹配。 通常,电子显微镜大致分为三种类型。 透射电子显微镜( TEM、扫描电子显微镜、扫描透射电子显微镜( STEM。
例如,对光镜下发现的线粒体、中心体等细胞器的结构和功能,在电镜下有了新的、更深入的理解光镜下不断争论的高尔基器,在电镜下得到了证实和深入研究; 电镜下发现了许多新的细胞器和结构,包括内质网微体、微管、微丝等。 在电子光学中,透镜都是磁透镜,简单地说,就是通过在线圈中流过电流,在其间形成磁场,对通过的电子束起到透镜的作用。
在图2d中,加速的Einzel透镜显示三个电极产生三个透镜。 首先第一个和第三个是正电平,第二个是负电平。 电子高速运动时,其波长比光波短得多,所以人们认为用电子束代替光波可以制作图像。 因此,电镜的制造者往往在四角安装弹簧脚来起到减震作用,而不是直接将电镜的镜体接地。
年代后扫描电镜的制备技术和成像性能迅速提高,目前高分辨率扫描电镜(如日立公司的S-5000型)使用冷场发射电子枪,分辨率为0.6nm,放大率达80万倍。 考虑到镜筒的机械稳定性、重力和其他外界因素的影响,通常使镜筒直立组装。 电子束通过镜筒——由将电子束聚焦在试样表面的透镜组构成。
由于光学显微镜利用混合了各色波长自然光,因此需要使用消除由各色波长引起的焦距变化的消色差透镜; 而电子透镜本身并不承担消除色差的作用,它通过精密稳定加速电压,提高电子束的单色性,解决了电子显微镜中的色差问题。
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