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sem截面怎么测,sem测横截面注意事项
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粉体可以直接撒在样品架的双面碳导电胶上,用表面平整的物体,如玻璃板或导电胶带原纸面压住,用洗耳球吹掉粘结弱的粒子。 图4-6左。 对于柔软的样品,制作截面时,请不要用剪刀直接切断。 直接切断的截面被剪切拉伸,质量很差。 特别是半导体的截面样品中,经常在非正入射的状态下进行观察,然后旋转90度进行测量。
如图4-7所示,左为镀金处理后的PS球的SEM测量结果,右为TEM直接拍摄结果,可见SEM的测量结果约为195nm左右,而TEM的测量结果为185nm左右。 这是因为在PS球上镀了5nm金,直径扩大了10nm左右。
接着,在样品像切割材料或楔形样品那样表面有凹凸的情况下,为了在放置样品时尽量朝向要观察的区域的EDS或ETD的方向,在用电子显微镜进行观察时,不会由于观察面朝向检测器而有较强的阴影,或者没有EDS信号SEM成像通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。 SEM指扫描电镜是一种用途广泛的科学仪器,SEM检测是扫描电镜检测的检测方法之一。
特征(一)可以直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可以增大到120mm80mm50mm。 样品表面喷金后,表面只覆盖了几纳米到十几纳米的金原子层,厚度只有几纳米到十几纳米,对形貌几乎没有影响。 通常,Ac是固定的,通常为100 mm。 通过改变As可以改变倍率。
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