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sem边缘效应为什么,不考虑边缘效应是什么意思
如图21所示,样品表面存在阶梯状的凹凸或尖细的突起物时,凹凸的边缘部分会变成一定宽度的明亮边缘而不是尖锐的线,或者突起物整体异常变亮的现象称为边缘效应。 六硼化镧( LaB6)灯丝的功函数为2.4eV,低于钨丝,因此即使是相同的电流密度,使用LaB6时也可以在1500K下达到,而且由于是高亮度,因此寿命比钨丝高很多。
扫描电镜是继透射电镜之后,发展起来的又一大型电子光学设备,是人类探索微观世界的可靠而有力的工具,如同人类的一双锐利的眼睛,不断拓展和拓展着人类探索微观世界的视野,为微观失效分析和新材料研发做出了独特的贡献样品电流( Specimen Current电子束照射样品时,一部分产生二次电子和背散射电子,另一部分留在样品中,样品接地后产生样品电流。
利用温度根据结晶方向而变化的特性,可以将结晶方位不同的所谓电子通道对比度( Electron Channeling Contrast:ECC作为图像进行观察,如图20所示,使结晶样品稍微倾斜
如图7所示,在试样表面微观的尖峰和突起的边缘中,如果入射的电子束正好切掉边缘部入射,则在该边缘部产生的二次电子的数量变多,产生的二次电子也容易逃逸,还具有二次电子从试样表面脱离从而面积增大的效果
图22是即使电子探针从远离边缘的位置照射,试料中扩散的电子也能够从边缘表面放出二次电子的边缘效应的示意图。 图21边缘效应示例图22入射电子的扩散和边缘效应示例:钢铁基坑加速电压25kV加速电压的影响10加速电压变化,入射电子的穿透深度也变化。 由该结果可知,1号粒子的平均半径为7.86m,直径约为15.7m,高度为2.95m。
入射电子束照射样品表面点的倾角2、边缘效应使电子入射到样品的边缘和尖端,样品电子更容易脱离,产生较多的二次电子,图像异常明亮。 面像差是物镜的主要缺陷,难以校正。 由于偏离透镜光轴的电子束偏转较大,其成像点比电子束沿光轴成像的高斯成像平面( Gauss image plane更接近透镜。
电子探测器有两种。 一个是闪烁计数器检测器( Scintillator,常用于检测低能量的二次电子。 另一个是固态探测器)固态探测器,用于探测高能量的反射电子。
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