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sem能是表面吗,SEM有何用途
由于背散射电子信号强度背散射系数,在样品表面的平均原子序数高的区域产生强信号,在背散射电子像中显示出明亮的对比度; 而背散射电子发射量与试样表面形貌相同,利用背散射电子获得试样形貌,因此可以根据背散射电子像(成分像)明暗对比判别相应区域原子序数的相对高低,有助于金属及其合金的微观组织分析。
用SEM制作表面粗糙度不是一个好方法。 使用共焦显微镜是最好的。 因为学术行业有专家,所以SEM只有这两种数据。 我不是说不能,只是效果不好。 用菜刀也能打开酒瓶,但一定很难用。 二次电子的能量一般较低,为50eV,大多数二次电子只有2~3eV的能量。 入射电子进入样品后,随着与样品中非弹性散射次数的增加,其能量损失完成,最后被样品吸收无法逸出样品表面,这部分电子称为吸收电子。
如果一些电子多次散射也能从样品表面反弹,这就会形成非弹性背散射电子。 注意: a、各元素均有特征能量值,俄歇电子能量一般为50~5000eV。 SEM电子束瞬间样品上的位置与阴极射线管电子束在荧光屏上的位置完全对应,因而样品的表面形貌与荧光屏上的图像完全对应。 以上是有关SEM表面分析的介绍,如有其他分析需求,请咨询实验室工程师并回答。
由实例可知,突出的尖棱线、小颗粒及较陡的斜面产生的二次电子较多,荧光屏上这些部位亮度较大; 即使在平面上的二次电子产值小、亮度低的深槽的底部也会产生很多二次电子,但由于这些二次电子难以被检测器接收,槽的底部也会变暗。 该透射电子束是在直径小( 10nm )的高能电子束照射薄膜样品时产生的,因此透射电子信号由微小区域的厚度、成分、晶体结构决定。
这是因为背散射电子能量高于二次电子能量,远离样品表面沿直线轨迹运动,检测出的背散射电子信号强度低于二次电子。 当入射电子束照射到一个多元素的样品表面时,由于不同原子序数部位的二次电子产量基体上相同,背散射电子较多的部位(原子序数大)吸收电子的数量较少,反而较多。
在中心部分也有含有第二相小粒子的韧窝,但由于小粒子的尺寸小,入射的电子束在其表面激发很多二次电子,因此该粒子大多较亮。 在样品的微区原子序20时,二次电子像的对比度完全表征了样品表面的形貌特征。 由于电子束一进入表面立即横向扩展,分析重元素时,即使束斑直径小,也无法达到高分辨率,这时二次电子和背散射电子的分辨率差会明显变小。
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