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透射电镜的总体工作原理是,电子枪发射的电子束在真空通道中沿镜体光轴通过聚光镜,由聚光镜汇聚成细小、明亮、均匀的光斑,照射到样品室内的样品上。 透射样品的电子束具有样品内部的结构信息,样品内致密处透射的电子量少,稀疏处透射的电子量多; SEM扫描电镜工作原理:用细焦电子束扫描(轰击)样品,电子与样品相互作用,激发各种物理信息。
扫描电镜可以对金属、陶瓷、岩石等材料以及各种固体材料的微观形貌观察和微区元素成分、线分布、面分布等进行纳米技术、材料、物理、化学、环境科学等领域的分析。 扫描电镜样品用戊二醛和空腹酸等固定,脱水和临界点干燥后,在样品表面喷涂薄层金膜增加双波电子数。 它利用聚焦的窄高能电子束扫描样品,通过束与物质之间的相互作用,激发各种物理信息,实现对这些信息进行采集、放大、再成像以表征物质微观形貌的目的。
例如,在材料科学领域,它是非常基础的科研仪器,可以毫不夸张地说,材料领域70%到80%的文章都使用扫描电镜提供的信息。 扫描电镜( SEM )是介于透射电镜和光学显微镜之间的观察手段。 仪器结构1、扫描电镜结构扫描电镜由电子光学系统、信号检测与放大系统、扫描系统、图像显示与记录系统、电源系统和真空-冷却水系统组成。
化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌)、机械、电机及导电样品,如半导体( IC、线宽测量、截面、结构观察)电子材料等。 利用加载在晶体两端的偏压收集电子-空穴对,经过前置放大器转换为电流脉冲,电流脉冲的高度取决于n的大小。 扫描电镜( SEM )是1965年以后迅速发展起来的一种新型电子仪器。 SEM成像通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。
分辨率影响扫描电镜分辨率的主要因素有: a .入射电子束光斑直径; b .入射电子束在样品中的扩展效应c .成像方式和使用的调制信号。 扫描电镜原理上利用聚焦非常精细的高能电子束对样品进行扫描,激发各种物理信息。
经过物镜聚焦调节和一次放大后,电子束进入下段中间透镜和第一、第二投影镜综合放大成像,最终放大的电子图像投影到观察室内的荧光屏上; 将荧光屏转换为可见光图像,供用户观察。
在扫描电镜SEM的使用过程中,体积小,使用方便,减少了占用空间,同时也让大家在使用仪器时更加方便; 操作和维护时也非常简单,可以减少使用者不必要的麻烦,同时可以在短时间内完成测量任务,满足用户的需求。
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