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sem 扫描电镜有几种,sem电镜扫描仪
将样品台设计成高温台、低温台、拉伸台,透射电镜还可以在加热状态、低温冷却状态、拉伸状态下观察样品动态组织结构、成分的变化,进一步拓展透射电镜的功能。 如何制作SEM图像,通常根据样品种类和期望的结果决定观察条件,调整适当的加速电压、工作距离( WD、适当的样品斜率,选择适当的传感器,调整适当的电子束电流。
晶体结构可以用高分辨率透射电镜进行研究,该技术也称为对比显微镜技术。 张慧等通过扫描电镜对煤中微裂纹进行了分类,阐述了各类裂纹的发育特征,探讨了裂纹演化、识别和影响裂纹发育的因素。 研究了储层中粘土矿物的类型、含量及电镜扫描空间分布特征。
x射线:使入射电子与样品发生非弹性碰撞时,会产生连续x射线和特征性x射线。 前者是入射电子减速发射的连续光谱,形成背景确定较少的分析量。 后者是特定能量层之间的能量差,可以藉此分析成分元素。 一般的钨型扫描电子显微镜可以得到200000倍的倍率,但实际操作后,大部分都是20000倍,图像变得不清晰。 但是,如果样品的表面形貌和导电性合适,大倍率650000倍是可以达到的。
FlexSEM1000是日立高新新推出的小型高性能钨丝电子显微镜,设计有大光束和低球差的物镜和聚光透镜,配备高分辨率二次电子探针和高灵敏度的五分后向散射探针,具有卓越的低真空成像能量因此,放大倍率的变化是通过改变电子束在试料表面的扫描宽度AS来实现的。
其优点是灯丝价格低廉,对真空度要求不高。 缺点是钨丝热电子发射效率低,发射源直径大。 即使通过二次或三次聚光镜,样品的表观电子束斑点直径也仅为5-7nm,因此仪器的分辨率受到限制。 为了获得高信号( xnho强度和图像分辨率,扫描电子束应具有高亮度,尽可能小的束斑直径。 低阶RN和中阶f有较明显的膨胀性、流动性和软化现象,而高阶s只有在1,1-300以上才有明显的膨胀性。
聚光透镜的作用是会聚电子枪发射的电子束,控制照明孔径角、电流密度和光点尺寸。 王晓刚等通过高温试验和扫描电镜分析,研究了三种典型沥青炭在800~1,600条件下焦炭的膨胀性、流动性、软化现象、孔隙结构及其活性。 物镜的分辨率决定了电镜的分辨率,中间镜和投影镜的作用是进一步放大来自物镜的图像。
由于电子束与样品作用体积( interaction volume的关系,特征x射线的产生与作用体积的大小有关,因此对于平面样品,EDS或WDS的空间分辨率受作用体积的大小限制。
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