SEM是什么镜，sem扫描电镜

　　　　SEM是什么镜，sem扫描电镜

　　　　透射电镜早期的透射电镜功能主要是观察样品的形貌，后来发展到可以通过电子衍射原位分析样品的晶体结构。 透射电镜和光学显微镜的成像原理基本相同，但前者以电子束为光源，电磁场为透镜。 由于得不到高分辨率的样品表面电子像，SEM没有发展，只能在电子探针x射线显微分析仪上作为辅助成像装置。 扫描电镜的焦深比透射电镜大10倍，比光学显微镜大几百倍。

　　　　电镜按结构和用途可分为透射电镜、扫描电镜、反射电镜、发射电镜等。 显像管有两个，一个用于观察，是分辨率低、长余辉的管子，另一个用于照片记录，是分辨率高、短余辉的管子4。 真空系统和电源系统的扫描电镜真空系统由机械泵和油扩散泵组成，作用是使镜筒内真空度达到10。 年他发表了用扫描透射电镜拍摄的铀和钍中的铀原子和钍原子像，这使SEM发展到了新的领域。

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　　　　由于扫描电子图像不是同时记录，而是分解为近百万个并依次记录构成，因此扫描电子显微镜除了能够观察表面形貌外，还能够进行成分和元素分析，以及根据电子通道图案进行结晶学分析，选择范围的尺寸能够从10m到2m。 物镜的分辨率决定了电镜的分辨率，中间镜和投影镜的作用是进一步放大来自物镜的图像。

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　　　　扫描电镜电子枪发射的电子束聚焦会聚到点光源； 点光源在加速电压下形成高能电子束； 高能电子束通过两个电磁透镜聚焦成直径微小的光斑，穿过末级带扫描线圈的电磁透镜后，电子束呈网格状扫描，一点一点撞击样品表面，同时激发不同深度的电子信号。 扫描电镜观察的是样品表面形貌，而透射电镜观察样品结构形貌。

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　　　　扫描电镜是观察样品表面结构的最佳选择，因为扫描电镜根据样品表面发射的二次电子量的不同形成图像的对比度。 由于电子束的波长远远小于可见光的波长，即使电子束的锥角为光学显微镜的1%，电镜的分辨率也远远优于光学显微镜。 需要进一步观察表面形貌时，需要使用扫描探针显微镜SPM(AFM、STM )。 扫描电镜( SEM )是介于透射电镜和光学显微镜之间的观察手段。

　　　　此后，在众多科学家的努力下，从SEM的理论上解决了仪器结构等方面的一系列问题。 年，通过愈伤组织的改进，电镜分辨率达到50纳米，约为当时光学显微镜分辨率的10倍，电镜越来越受到关注。 扫描电子镜像一般是指二次电子图像，是研究样品表面形貌最有用的电子信号。