sem加速电压范围是多少，SEM常用的加速电压范围

　　　　sem加速电压范围是多少，SEM常用的加速电压范围

　　　　当样品导电性较好时，可以选择较高的加速电压。 在这种情况下，电子束能量大，激发二次电子、背散射电子的数量增多，有利于改善图像的分辨率、信噪比、对比度，有利于高倍率观察。 由于样品室真空度不高，还存在大量的气体分子。 入射电子和信号电子电离样品附近的气体分子，例如o、n，这些离子在附加电场的作用下向样品运动，中和表面积累的电子，消除带电现象，选择高加速电压也能正常工作。

　　　　二次电子信号主要来自样品表面，其深度范围为10 nm，成像具有较高的分辨率，能较好地反映样品形貌特征。 在进行扫描电镜( SEM测试时，科学指南针检测平台的工作人员在与广大学生的交流中，很多学生对SEM测试知之甚少。 对此，科学指南针检测平台团队组织相关同行梳理网络海量知识，希望科研圈伙伴们给予帮助； 根据蒙特卡罗电子轨道模型可以推导出入射电子的最大透射深度h。

　　　　如下图所示，当扫描电镜的加速电压恒定时，其作用区域随着样品原子序数的增加而减小。 扫描电镜通常在10KV~30KV加速电压下工作，可获得优质图像； 微区成分分析也能提供可靠的定性和定量结果。 如下图所示，对于相同的材料，随着加速电压的增加(5~25kV，其作用区域会变大。 聚焦电子束沿一定方向入射到样品上，电子受到材料中晶体位场和原子库仑场的作用，导致其运动方向发生变化，称为散射现象，这一过程是一个随机过程。

　　　　加速电压的选定取决于样品的质量(包括导电性)、画质要求、倍率等情况。 对于容易充电的非导体试样和容易烧伤的生物试样，也应该采用低加速电压。 反射镜光圈(副机栅、电阳极问距)有助于提高工作距离(加速电压)大的图像清晰度。 从根本上说，低的时候是麻疹。 当观察到的样品为凹凸不平的表面或深孔时，为了减小入射电子探针的穿透和散射体积，可以采用较低的加速电压来改善图像清晰度。

　　　　普通扫描电镜加速电压一般为0.5—30kv (一般10-20 kV左右)。 电子束聚焦到达试样表面后，激发出二次电子( SE、背散射电子( BSE、俄歇电子( oger电子)、特性x射线( X-ray、透射电子( TE等各种物理信号。 入射电子在样品内部的散射轨迹可以用Monte Carlo电子轨迹模型进行模拟。

　　　　扫描电镜( SEM利用聚焦电子束进行微区样品表面形貌和成分分析，电子从发射源)灯丝)经过光路系统最终到达样品表面，电子束直径在10 nm以下，场发射电镜聚焦电子束直径进一步减小。 聚焦电子束和样品作用区的大小主要与样品的原子序数、电镜加速电压和电子束入射角度有关。