为什么sem试样必须导电，sem如果样品导电性差

　　　　为什么sem试样必须导电，sem如果样品导电性差

　　　　众所周知，理想的扫描电镜样品的导电性一定非常好，例如金粒子、锡球等金属类材料。 电子的波长较短，单晶的电子衍射图样像晶体的倒晶格一样的二维截面被放大投影到底片上，从底片上的电子衍射图样可以直观地识别出一些晶体的结构和取向关系，晶体结构的研究比x射线更简单。 年，英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM。

　　　　产生：在入射电子激发样品特征x射线的过程中，外层电子跃迁到内层时辐射的能量不是以x射线形式发射的，而是被外层另一层电子吸收后摆脱原子核的束缚逃逸。 这种被电离的电子称为俄歇电子。 具有一定能量的电子束与样品作用，产生多种反映样品微区厚度、平均原子序数、晶体结构或方位差的信息。 为了分析样品上的一个微区，应在样品上放置光阑，使电子束只能照射到光阑孔有限的微区。

　　　　样品上突出的尖棱、小颗粒及较陡斜面产生二次电子多，荧光屏亮度大，平面产生二次电子小，亮度低； 即使在深槽的底部也会产生很多二次电子，但由于这些二次电子难以被探测器收集，因此槽的底部较暗。 SEM成像通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。 二次电子能量低，只能从样品表面层5~10nm的深度范围内激发；

　　　　非弹性背散射电子——被样品中的核外电子轰击后发生非弹性散射的入射电子，方向和能量发生变化，经过多次散射后仍能反弹样品表面的入射电子。 吸收电子信号的强度与二次电子和背散射电子的发射相关，样品较厚，即=0， =1。 随着样品厚度的增加，透射电子数减少，吸收电子数增加，当样品厚度超过有效透射深度时透射电子消失。

　　　　扫描电子显微镜成像原理——利用当微聚焦电子束扫描样品表面时激励的各种物理信号来调制图像。 扫描电镜的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号，当样品不导电时，多余的电子和游离粒子积累不能立即传递，在一定程度上导致反复充放电现象( charging，最终影响电子信号的传输

　　　　随着样品质量厚度的增大，透射系数降低，吸收系数增大； 样品的背散射系数和二次电子发射系数之和也很大，但达到一定值后保持一定值。 从热阴极发射的电子在阳极加速电压的作用下高速通过阳极孔后，由聚光透镜聚集成一定直径的束点照射到试样上，由物镜聚焦并放大，在其像平面上形成反映这些信息的透射电子像，经过中间镜和投影镜进一步放大