sem测试样品处理的要求有哪些，SEM试样制备

　　　　sem测试样品处理的要求有哪些，SEM试样制备

　　　　舀粉体常用的是碳支撑膜和小孔微栅，小孔微栅上面其实也有极薄的碳膜。 因此，镀膜尽量控制在10nm以下，如果镀上10nm的导电膜导电性也得不到改善，继续增加镀膜也没有意义。 另外，即使样品的整个体内具有良好的导电性，连接在表面的导电带也相当于一个并联电路，并联电路的总电阻总是小于任何支路的电阻，所以无论样品的导电性如何，都应该习惯性地将一个导电带连接在表面，进一步减小接触电阻，提高导电性

　　　　为了尽量不破坏样品的晶体结构，氧化铝最好使用低密度模式。 粉体可以直接撒在样品架的双面碳导电胶上，用表面平整的物体，如玻璃板或导电胶带原纸面压住，用洗耳球吹掉粘结弱的粒子。 图4-6左。 电镀后金属膜发射二次电子代替样品，一般电镀的金、铂具有较高的二次电子激发率，电镀后可以提高信号强度和对比度，提高图像质量。

　　　　高分辨率拍摄时，试样厚度宜控制在20 nm以下，直接捞取直径小于20 nm的粉体，若颗粒更大，包埋后离子宜变薄。 普通待观察的样品应尽可能具有良好的导电性，否则会引起荷电现象，电镜无法正常观察； 另外，样品需要良好的热传导性。 否则，冲击点位置温度升高，样品中低熔点成分挥发，形成辐照损伤，影响实际形态观察。

　　　　目前的电镀设备一般能准确控制膜厚，但一般镀5nm薄膜就能充分改善导电性。 对于海绵、泡状等特殊结构的试样，表面不致密，即使镀上厚的导电层也很难形成通路。 通常选择镀Au膜，但对分辨率有较高要求时，可以选择镀铂Pt、铬Cr、铱Ir。 液体：用移液管吸取样品超声波后的悬浮液滴加到硅片或锡纸上，用自然风干/红外灯干燥，干燥后用导电粘接将硅片或锡纸粘接在样品台上进行测试；

　　　　部分样品抗电子束能力差，成像时会引起成像部位破裂和局部漂移； 为了避免这种现象，降低加速电压和小电子束的流动，加厚喷涂金属膜，快速选定拍摄时要拍摄的部位，在短时间内对焦拍摄。 自由电子的积累在样品局部形成静电场，影响正常电子信息溢出，产生电荷效应，图像局部异常明亮，局部异常暗沉； 表面变平； 图像畸形； 图像漂移现象； 样品导电性差是造成这种现象的主要原因。

　　　　对于热传导性差的试料，k较低，t有时会接近1000K，容易损伤试料。 如图4-7所示，左为镀金处理后的PS球的SEM测量结果，右为TEM直接拍摄结果，可见SEM的测量结果约为195nm左右，而TEM的测量结果为185nm左右。 这是因为在PS球上镀了5nm金，直径扩大了10nm左右。