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SEM主要基于什么成像,sem图像分析简介
它们分别由相应的收集器接收,经放大器依次按比例放大后,输送到阴极射线管网格,用于同步调制阴极射线管的电子束强度,即阴极射线管荧光屏上的亮度。 SEM扫描电镜在断口失效分析、材料显微组织形态观察及成分分析方面发挥了重要作用。 由于扫描成像,入射电子束点的直径小于入射电子束点的细节。 SEM相当于通过电子将样本放大50万倍,将1毫米放大到500米。
选择低加速电压意味着使用低能电子束,其入射样本并受到散射的扩散区小,相互作用区接近表面,有利于表面形貌成像。 由于二次电子和背散射电子的发射方向均位于样品上方,因此SEM的检测器也位于样品上方(这也是与TEM存在较大差异的地方)。 扫描电镜( SEM )是介于透射电镜和光学显微镜之间的微观形貌观察手段,可以直接利用样品表面材料的物理性能进行微观成像。
对于纯物质的单成分样品,SEM图中斜率大的一侧变亮。 光和物体发生作用,出现在人眼中; 在SEM/TEM中,电子代替光与物体相互作用并出现在屏幕上。 背散射电子不仅可以作为成像信号分析形态特征,还可以用来显示原子序数的对比度,定性地进行成分分析。
透射电子显微镜是指用透射试样的电子束成像的电子显微镜。 在高真空系统中,电子枪发射电子束,通过研究对象的试料,用电子透镜聚焦放大,在荧光屏上显示高度放大的物象。 另外,能够进行摄影记录的最普通的电子显微镜- -电子显微镜电子扫描型显微镜是用电子探针扫描试料表面形成图像的电子显微镜。
但是,半导体和器件、合成纤维、溅射和氧化膜、纸、动植物组织、高分子材料等热敏性和导电性差的样品,不允许导电处理,有时要求直接观察。 扫描电镜的成像原理与透射电镜大不相同,不使用透镜制作放大图像,而是像CCTV系统那样,逐点扫描制作图像。 SEM产生的电子束撞击样品原子的电子层,产生x射线,释放出不同程度的能力,从而判断原子的种类。
年,英国工程师Charles 0atley首先制造了扫描电子显微镜( SEM )。 sem的成像原理与光学显微镜和透射电子显微镜不同,它以电子束为照明源,用光栅扫描方式对样品照射细小聚焦的电子束,通过收集和处理电子与样品相互作用产生的二次电子背散射电子等获得微观形貌放大像。
该系统的作用是将电信号转化为阴极射线管电子束强度的变化,得到亮度变化的扫描图像,同时以照片方式记录或以数字形式存入计算机。 即,利用低电压成像技术,可以在1~5KV以下的加速电压下成像。
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